[发明专利]一种多管运动的化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种多管运动的化学气相沉积装置，该装置包括反应腔、石英管、微波发 生器和传输系统。

2.根据权利要求1所述，其中，所述反应腔上盖具有顶盖升降系统，所述顶 盖升降系统可以通过电子线性传导马达来打开和关闭腔室盖。

3.根据权利要求1所述，其中，所述微波发生器可以产生至少2.45GHz频率 的微波。

4.根据权利要求1所述，其中，所述传输系统用于传输装有电池片的载板。

5.根据权利要求1所述，其中，所述传输系统为滚轮模式，通过硬连接连接， 可以保证所述带轮的同步性。

6.根据权利要求1所述，其中，在整个载板运动期间，具有限位开关，实时 监测载板位置。在载板的运动过程中，有导向装置，使载板按照预定轨道前进。