[发明专利]一种制氢方法

权利要求书

1.一种制氢方法，其特征在于：利用GaN-LED生产过程中MOCVD设备排 出的尾气做原料，制成纯氢气为MOCVD设备再次使用的方法，包括以 下制造过程：(1)高温分解——将MOCVD排放的尾气先在500℃～1000℃ 下将氨气分解出氢气和氮气，用水冷却到室温、用过滤器过滤掉气体中 的灰尘；(2)氢氮分离——用氢气压缩机加压，然后用变压吸附或者中 空纤维膜分离方法将氢气分离出来，将剩余气体直接排空；(3)氢气提 纯——用分子筛技术、吸气剂技术等将氢气中的氧气、水汽等含氧杂质 去除。

2.如权利要求1所述的一种制氢方法，其特征在于：在高温分解过程中， 可以将分解炉的进气和出气之间进行热交换，利用高温出气中的热量加 热进气，降低能耗。

3.如权利要求1所述的一种制氢方法，其特征在于：在氢氮分离过程中， 可以用变压吸附方法将氢气从氢氮混合气中分离出来。

4.如权利要求1所述的一种制氢方法，其特征在于：在氢氮分离过程中， 可以用中空纤维膜分离方法将氢气从氢氮混合气中分离出来。

5.如权利要求1所述的一种制氢方法，其特征在于：在氢气提纯过程中， 可以采用分子筛吸收技术，将氢氮混合气中的水汽等含氧杂质去除。

6.如权利要求1所述的一种制氢方法，其特征在于：在氢气提纯过程中， 可以采用吸气剂技术，将氢氮混合气中的水汽等含氧杂质去除。

7.如权利要求1所述的一种制氢方法，其特征在于：氢氮分离过程和氢气 提纯过程，这两个过程的顺序可以互换。