[发明专利]真空紫外平面光栅色散光谱仪的装调方法

权利要求书

1.真空紫外平面光栅色散光谱仪的装调方法，其特征是，该方法包括以下步骤：

第一步，Zygo干涉仪(1)出射标准准直光入射到真空紫外光谱仪(12)上，分别调整真空紫外光谱仪(12)中的望远镜(12-1)、狭缝(12-2)、准直镜(12-3)和代替真空紫外光栅(12-4)的平面镜(3)，使Zygo干涉仪(1)出射的光经平面镜(3)反射后返回Zygo干涉仪(1)中，计算机控制处理系统(2)与Zygo干涉仪(1)相连，观察波像差微调前端各光学元件，并通过计算机控制处理系统(2)获取系统最优波像差图像，从而完成一次装调；

第二步，将Zygo干涉仪(1)换为标准汞灯(4)和可见光准直器(5)，可见光平面光栅(6)代替平面镜(3)，在真空紫外光谱仪(12)的像面处安装可见光数据采集处理系统(7)，计算机控制处理系统(2)与可见光数据采集处理系统(7)相连，进行控制和显示；聚焦镜(12-5)位于可见光平面光栅(6)和可见光数据采集处理系统(7)光路之间；

根据可见光平面光栅(6)与真空紫外光栅(12-4)的刻线密度之比计算对应的各真空紫外光谱谱线的汞灯(4)特征光谱在像面的位置，调整可见光平面光栅(6)和聚焦镜(12-5)，利用汞灯(4)多条特征谱线间隔恒定不变的原理对各谱线的中心进行拟合计算确定，使汞灯(4)特征谱线的中心位置在像面位置与理论值匹配，完成可见光下的二次装调；

第三步，利用标准氘灯(8)、真空紫外单色仪(9)和真空紫外光准直器(10)组成准直标准照射光源代替标准汞灯(4)和可见光准直器(5)，将真空紫外光栅(12-4)换回光路，待装调光谱仪(12)放入真空系统(11)中，并与真空紫外数据采集处理系统(12-6)组成检验系统，计算机控制处理系统(2)与真空紫外数据采集处理系统(12-6)相连，控制数据采集图像数据并进行显示，根据光谱分辨率的显示结果检验装调效果，完成装调过程。