[发明专利]用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪

权利要求书

1.用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其结构包括进样系统，切换阀，色谱柱，放空针阀和检测器，其特征在于：所述气相色谱仪的第一切换阀（1）上设有第一定量管（8）和第二定量管（9），第二切换阀（2）上设有第一针阀（24）和第二针阀（25），第三切换阀（3）上设有第三针阀（26）、第四针阀（27）和第一检测器PDD1（6），第四切换阀（4）上设有第四色谱柱（14）和第三定量管（10），第五切换阀（5）上设有第五针阀（28）、第六针阀（29）和第二检测器PDD2（7）；第一切换阀（1）和第二切换阀（2）之间由所设的第一色谱柱（11）连接，第二切换阀（2）和第三切换阀（3）之间由所设的第二色谱柱（12）连接，第一切换阀（1）和第三切换阀（3）之间由所设的第三色谱柱（13）连接，第四切换阀（4）和第五切换阀（5）之间由所设的第五色谱柱（15）和第六色谱柱（16）连接。

2.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其特征在于：所述气相色谱仪的第一载气（19）气路与第一切换阀（1）的④号接口连接、第二载气（20）气路与第一切换阀（1）的⑨号接口连接；样品进口与第一切换阀（1）的①号接口连接，第一切换阀（1）的②号接口和第四切换阀（4）的①号接口连接；第一切换阀（1）的⑦号接口与第一切换阀（1）的⑩号接口连接的管路上设有第一定量管（8）,第一切换阀（1）的③号接口与第一切换阀（1）的⑥号接口连接的管路上设有第二定量管（9）；第一切换阀（1）的⑤号接口和第二切换阀（2）的⑤号接口连接的管路上设有第一色谱柱（11）；第一切换阀（1）的⑧号接口和第三切换阀（3）的④号接口连接的管路上设有第三色谱柱（13）。

3.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其特征在于：所述气相色谱仪的第三载气（21）气路与第二切换阀（2）的①号接口连接；第一针阀（24）与第二切换阀（2）的④号接口连接，第二针阀（25）与第二切换阀（2）的②号接口连接；第二切换阀（2）的⑥号接口与第三切换阀（3）的⑥号接口连接的管路上设有第二色谱柱（12）。

4.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其特征在于：所述的第三针阀（26）与第三切换阀（3）的③号接口连接，第四针阀（27）与第三切换阀（3）的①号接口连接；第一检测器PDD1（6）与第三切换阀（3）的⑤号接口连接。

5.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其特征在于：所述气相色谱仪的第四载气（22）气路与第四切换阀（4）的④号接口连接、第五载气（23）气路与第四切换阀（4）的⑦号接口连接，样品出口与第四切换阀（4）的②号接口连接；第四切换阀（4）的③号接口与第四切换阀（4）的⑩号接口连接的管路上设有第三定量管（10）；第四切换阀（4）的⑤号接口与第四切换阀（4）的⑨号接口连接的管路上设有第四色谱柱（14）；第四切换阀（4）的⑥号接口与第五切换阀（5）的⑥号接口连接的管路上设有第五色谱柱（15），第四切换阀（4）的⑧号接口与第五切换阀（5）的④号接口连接的管路上设有第六色谱柱（16）。

6.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其特征在于：所述的第五针阀（28）与第五切换阀（5）的①号接口连接，第六针阀（29）与第五切换阀（5）的③号接口连接；第二检测器PDD2（7）与第五切换阀（5）的⑤号接口连接。

7.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其特征在于：所述的第一切换阀（1）和第四切换阀（4）为十通吹扫气动切换阀，第二切换阀（2）、第三切换阀（3）、第五切换阀（5）为六通吹扫气动切换阀。

8.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其特征在于：所述的第一色谱柱（11）和第二色谱柱（12）为30m的Al₂O₃毛细柱；第三色谱柱（13）为50m的Al₂O₃毛细柱；第四色谱柱（14）和第六色谱柱（16）为2m的Porapak Q填充柱；第五色谱柱（15）为2m的5A分子筛填充柱。

9.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其特征在于：所述的第一检测器PDD1（6）和第二检测器PDD2（7）采用氦离子化检测器。