[发明专利]一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法

权利要求书

1.一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置，其特征在于：该装置包括：菲索移相干涉仪(101)，平面标准镜(102)，被测平面镜(103)，千分表(104)，千分表支架(105)，大理石平台(106)，转台(107)，第一六维调整平台(108)，方镜(110)，第二六维调整平台(109)，计算机(111)和标记平面镜(112)，其中：

第一六维调整平台(108)和第二六维调整平台(109)放于转台(107)上，转台(107)放于大理石平台(106)上；

方镜(110)放于第二六维调整平台(109)上，第二六维调整平台(109)可在六个自由度调节方镜(110)；

被测平面镜(103)放于第一六维调整平台(108)上，第一六维调整平台(108)可在六个自由度调节被测平面镜(103)；

在大理石平台(106)上安装上千分表(104)和千分表支架(105)，千分表(104)与被测平面镜(103)的外边缘接触；

被测平面镜(103)侧边缘的刻线(1031)、方镜(110)的左表面的刻线(1101)、右表面的刻线(1104)大致共面；

平面标准镜(102)装在菲索移相干涉仪(101)的前端，并位于平面镜(103)的上方几厘米处；

计算机(110)与菲索移相干涉仪(101)连接，可控制菲索移相干涉仪(101)，时时显示干涉条纹图像，并获得菲索移相干涉仪(101)的CCD坐标系下的面形数据，且含图像处理算法，该算法可将不连续的面形数据分离出来，提取面形数据中的特征点。

2.根据权利要求1所述的在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置，其特征在于：所述标记平面镜(112)的中心有十字刻线(1121)。

3.根据权利要求1所述的在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置，其特征在于：所述被测平面镜(103)的侧面边缘有垂直于被测面的刻线(1031)。

4.根据权利要求1所述的在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置，其特征在于：所述被方镜(110)为正方体，左表面有过中心的刻线(1101)，其方向与上表面垂直；右表面有过中心的刻线(1104)，其方向与上表面垂直；上表面有第一十字刻线(1102)和第二十字刻线(1103)，第一十字刻线(1102)和第二十字刻线(1103)的中心连线长为某一确定值d，该连线方向与方镜(110)的长边平行，该连线的中点在上表面的中心，方镜(110)的下表面磨毛。

5.一种使用权利要求1所述的标记检测数据坐标系的装置标记检测数据坐标系的方法其特征在于：该标记检测数据坐标系的方法具体如下：

步骤S1：确定转台的中心在CCD上对应点；

步骤S2：转台(107)的中心、方镜(110)上表面第一十字刻线(1102)中心和第二十字刻线(1103)的中心在CCD上的对应点共线，且方向与CCD的X方向平行；

步骤S3：对准被测平面镜(103)的中心与转台(107)的中心；

步骤S4：被测平面镜(103)与平面标准镜(102)平行；

步骤S5：调整被测平面镜(103)侧边缘的刻线(1031)、方镜(110)的左表面的刻线(1101)、方镜(110)的右表面的刻线(1104)共面；

步骤S6：获取检测结果。