[发明专利]一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置在审
| 申请号： | 201410621527.6 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN105624635A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 曹俊 | 申请（专利权）人： | 无锡康力电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人： | 李妙英 |
| 地址： | 214253 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 阳极 自动 调节 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置，其特征在于：它包括 阳极罩(1)，在所述阳极罩(1)一端设有导轨(2)，在所述导轨(2) 上设有挡板(3)，所述挡板(3)在导轨(2)上作直线运动，在所述 挡板(3)一侧中部设有滚珠丝杆(4)，在所述滚珠丝杆(4)端部设 有步进电机(5)，在所述滚珠丝杆(4)上设有真空箱体(6)，在所 述真空箱体(6)与滚珠丝杆(4)的连接处设有磁流体密封装置(7)。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜用阳极罩自动调节装置，其 特征在于：所述挡板(3)为钛合金挡板。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜用阳极罩自动调节装置，其 特征在于：在所述阳极罩(1)上设有等离子体发射窗口(8)。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜用阳极罩自动调节装置，其 特征在于：所述真空箱体(6)的一侧为大气侧，另一侧为真空侧， 所述磁流体密封装置(7)安装在真空箱(6)的大气侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡康力电子有限公司，未经无锡康力电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410621527.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种针对连续式化学镀的清洗方法
- 下一篇：绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
