[发明专利]一种集成电路防腐蚀研磨剂

说明书

技术领域

本发明涉及研磨剂领域，尤其涉及一种集成电路防腐蚀研磨剂。

背景技术

集成电路蚀研磨剂是集成电路生产与制造的重要组成，但是现有的集成电路蚀研磨剂的防腐蚀性能较差，无法达到用户的需求。

发明内容

所要解决的技术问题是克服现有技术存在的缺陷，提供一种集成电路防腐蚀研磨剂。

本发明所采用的技术解决方案是一种集成电路防腐蚀研磨剂，包括氧化铝和水性介质，还加入了二氧化氯10-15份、氢氧化钙1-5份、多聚甲醛5-10份、除油粉1-5份。

与现有技术相比，本发明所具有的有益效果为：本发明通过加入二氧化氯、氢氧化钙、多聚甲醛、除油粉，使得该发明具有良好的防腐蚀性能的优点。

具体实施方式

本发明详细内容结合实施例加以说明：

实施例1:一种集成电路防腐蚀研磨剂，包括氧化铝和水性介质，还加入了二氧化氯15份、氢氧化钙5份、多聚甲醛10份、除油粉5份。

实施例2:一种集成电路防腐蚀研磨剂，包括氧化铝和水性介质，还加入了二氧化氯10份、氢氧化钙1份、多聚甲醛5份、除油粉1份。