[发明专利]一种铝碱洗缓蚀剂及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201410624281.8 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN104372362A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 孙立明;贾虹;孙若思 | 申请（专利权）人： | 马鞍山市鸿伟环化有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/22 | 分类号： | C23G1/22;C23G1/16;C23G1/18 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 蒋海军 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝碱洗缓蚀剂 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种铝碱洗缓蚀剂，由水、硅酸钠、葡萄糖酸钠、苯并三氮唑、酒石酸钙、吖啶和邻苯二甲酸二乙二醇二丙烯酸酯组成，所述的各组分的质量份数为：硅酸钠15-25份、葡萄糖酸钠10-20份、苯并三氮唑5-10份、酒石酸钙10-15份、吖啶8-12份、邻苯二甲酸二乙二醇二丙烯酸酯20-30份、水30-40份。
2.根据权利要求1所述的一种铝碱洗缓蚀剂，其特征在于：所述的各组分的质量份数为：硅酸钠20份、葡萄糖酸钠15份、苯并三氮唑5份、酒石酸钙10份、吖啶8份、邻苯二甲酸二乙二醇二丙烯酸酯30份、水35份。
3.权利要求1中所述的一种铝碱洗缓蚀剂的制备方法，其步骤为：
(a)按质量份数称取邻苯二甲酸二乙二醇二丙烯酸酯20-30份、水10-15份和酒石酸钙10-15份加热至40-45℃，搅拌混合均匀，得到铝碱洗缓蚀剂的A液；
(b)按质量份数称取硅酸钠15-25份、苯并三氮唑5-10份和水10-13份在室温下搅拌混合均匀，得到铝碱洗缓蚀剂的B液；
(c)按质量份数称取葡萄糖酸钠10-20份、吖啶8-12份和水10-12份在室温下搅拌混合均匀，得到铝碱洗缓蚀剂的C液；
(d)在搅拌的条件下分别将步骤(b)中得到的B液和步骤(c)中得到的C液加入步骤(a)中得到的A液中，搅拌3-5h后得到铝碱洗缓蚀剂。
4.根据权利要求3所述的一种铝碱洗缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述的步骤(a)、步骤(b)和步骤(c)中的搅拌速度均为180-250rpm。
5.根据权利要求3所述的一种铝碱洗缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述的步骤(d)中的搅拌速度为100-150rpm。
6.根据权利要求3所述的一种铝碱洗缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述的步骤(d)加入B液和C液的条件为当步骤(a)中的A液冷却至30℃时。
7.邻苯二甲酸二乙二醇二丙烯酸酯在铝碱洗缓蚀剂中的应用。
8.权利要求1中的铝碱洗缓蚀剂在铝碱洗中的应用。
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