[发明专利]承压散重防震脚有效
申请号: | 201410624397.1 | 申请日: | 2014-11-07 |
公开(公告)号: | CN104314273A | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 何文蔚;张旭升;朱骏;吕煜坤;许青峰 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | E04F15/024 | 分类号: | E04F15/024;E04B1/98 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;林彦之 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 承压散重 防震 | ||
1.一种承压散重防震脚,应用于微环境洁净室,所述防震脚位于所述洁净室底部用于支撑所述洁净室,高架地板位于防震脚下方用于支撑所述防震脚,其特征在于,所述防震脚包括:
支撑部件,与所述洁净室底部接触,用于支撑所述洁净室;
防震部件,其具有两个侧壁和与所述两个侧壁相连的一底部,所述底部与所述支撑部件底部相连,且固定于所述高架地板上,所述侧壁与所述洁净室相固定;所述防震部件与所述支撑部件一体成型。
2.根据权利要求1所述的防震脚,其特征在于,所述防震部件的底部通过螺栓固定于所述高架地板上;所述防震部件的侧壁通过螺栓与所述洁净室相固定。
3.根据权利要求1所述的防震脚,其特征在于,所述支撑部件为轴对称结构,所述防震部件为轴对称结构,所述支撑部件的对称轴与所述防震部件的对称轴重合。
4.根据权利要求3所述的防震脚,其特征在于,所述防震部件的两个侧壁分别竖立于所述防震部件的底部纵截面的1/3处和2/3处。
5.根据权利要求3所述的防震脚,其特征在于,所述支撑部件为螺旋杆,所述洁净室底部到所述防震部件底部的高度为所述防震部件底部长度的31/3/2。
6.根据权利要求1所述的防震脚,其特征在于,所述防震部件的底部面积为所述洁净室底部面积的三倍。
7.根据权利要求6所述的防震脚,其特征在于,所述洁净室的水平宽度为所述防震部件的水平长度的1/3。
8.根据权利要求7所述的防震脚,其特征在于,所述洁净室的竖直中心轴位于所述防震部件的竖直中心轴上;并且所述支撑部件的竖直中心轴也位于所述防震部件的竖直中心轴上。
9.根据权利要求1所述的防震脚,其特征在于,所述洁净室由铝合金框架构成。
10.根据权利要求1所述的防震脚,其特征在于,所述高架地板为镂空的,所述高架地板下设有支撑体,与所述高架地板构成空腔;所述洁净室的顶部安装有排风机,所述排风机将风往下吹,风带动所述洁净室内的灰尘向下穿过所述高架地板的镂空处而排到所述空腔中。
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