[发明专利]一种具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台

权利要求书

1. 一种具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台，其特征在于，包括固定在离子束刻蚀机真空腔体（1）内的固定底座（4）、传动座（6）和基片台（8）；所述固定底座（4）上装有一摆动机构（5），以及由摆动机构（5）通过齿轮副传动的传动座（6）；所述传动座（6）上通过轴承装有通水轴（13）和多根行星轴（9），所述通水轴（13）上装有太阳齿轮（21），所述行星轴（9）的一端装有所述基片台（8）；在基片台（8）与所述传动座（6）之间形成与所述通水轴（13）串联连通的冷却水道（23）；所述通水轴（13）分别连通一进水管路（14）和一出水管路（15）而与所述冷却水道（23）一起形成冷却水回路。

2. 根据权利要求1所述的具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台，其特征在于，所述摆动机构包括装在固定底座（4）内装有由摆动电机（3）驱动旋转的摆动轴（19），该摆动轴（19）顶端装有与所述传动座（6）相连的连接座（20）而使传动座（6）在摆动轴（19）的驱动下绕摆动轴（19）摆动；所述固定底座（4）上装有由一主动齿轮（18）啮合传动的传动齿轮（17），该传动齿轮（17）与装在传动座（6）的锥齿轮啮合传动而驱动传动座（6）绕通水轴（13）转动。

3. 根据权利要求1所述的具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台，其特征在于，所述冷却水道（23）由开设在传动座（6）端面的水槽以及开设在基片台（8）上的水槽对接构成。

4. 根据权利要求1所述的具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台，其特征在于，所述通水轴（13）与行星轴（9）的轴体上均装有O型密封圈和油封。

5. 根据权利要求1-4之一所述的具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台，其特征在于，所述行星轴（9）有三根，每根行星轴（9）端头装有一个基片台（8），各基片台（8）的冷却水道通过传动座（6）上的冷却水道串联连通。

6. 根据权利要求1所述的具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台，其特征在于，所述主动齿轮（18）装载主动轴上，该主动轴与一转动电机（12）的输出轴相联。