[发明专利]晶锭切割装置有效
申请号: | 201410627973.8 | 申请日: | 2014-11-10 |
公开(公告)号: | CN105479605B | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 叶宸夆;杨尚伟 | 申请(专利权)人: | 茂迪股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人: | 梁挥,常大军 |
地址: | 中国台湾新北市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 装置 | ||
1.一种晶锭切割装置,其特征在于,包括:
一第一主滚轮及一第二主滚轮,该第一主滚轮与该第二主滚轮由一马达系统驱动而转动;
一线锯,由该第一主滚轮与该第二主滚轮所驱动;以及
一第一辅助滚轮,位于该第一主滚轮与该第二主滚轮之间,且该第一辅助滚轮的一侧支撑该线锯于一水平方向上;
其中,该第一辅助滚轮于待切割的一晶锭接触该线锯前位于一第一垂直位置,使该线锯于该水平方向上由该第一辅助滚轮上的一沟槽所限制;
该第一辅助滚轮于待切割的该晶锭接触该线锯后,因该线锯的带动而移到一第二垂直位置,该第一垂直位置高于该第二垂直位置。
2.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该第一辅助滚轮位于该第一垂直位置时,通过该第一辅助滚轮的最高点的一水平高于通过该第一主滚轮的最高点或该第二主滚轮的最高点的一水平。
3.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该第一辅助滚轮位于该第二垂直位置时,通过该第一辅助滚轮的最高点的一水平等于或高于通过该第一主滚轮的最高点或该第二主滚轮的最高点的一水平。
4.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该第一主滚轮的直径与该第二主滚轮的直径大于该第一辅助滚轮的直径。
5.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该第一辅助滚轮由该第一垂直位置移到该第二垂直位置时,该第一主滚轮与该第二主滚轮在垂直方向上的位置不变。
6.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,该线锯切割该晶锭时,该第一辅助滚轮受该线锯带动而转动。
7.根据权利要求1所述的晶锭切割装置,其特征在于,更包括一第二辅助滚轮,位于该第一主滚轮与该第二主滚轮之间,且该线锯切割该晶锭时,该第一辅助滚轮与该第二辅助滚轮在该水平方向上分别位于该晶锭的两侧。
8.一种晶锭切割方法,其特征在于,包括:
设置一第一辅助滚轮于一第一主滚轮与一第二主滚轮之间,且该第一辅助滚轮的一侧支撑一线锯于一水平方向上;以及
驱动该第一主滚轮与该第二主滚轮转动,且该线锯由该第一主滚轮与该第二主滚轮所驱动;
其中,该第一辅助滚轮于待切割的一晶锭接触该线锯前位于一第一垂直位置,使该线锯于该水平方向上由该第一辅助滚轮上的一沟槽所限制;
该第一辅助滚轮于待切割的该晶锭接触该线锯后,因该线锯的带动而移到一第二垂直位置,该第一垂直位置高于该第二垂直位置。
9.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该第一辅助滚轮位于该第一垂直位置时,通过该第一辅助滚轮的最高点的一水平高于通过该第一主滚轮的最高点或该第二主滚轮的最高点的一水平。
10.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该第一辅助滚轮位于该第二垂直位置时,通过该第一辅助滚轮的最高点的一水平等于或高于通过该第一主滚轮的最高点或该第二主滚轮的最高点的一水平。
11.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该第一主滚轮的直径与该第二主滚轮的直径大于该第一辅助滚轮的直径。
12.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该第一辅助滚轮由该第一垂直位置移到该第二垂直位置时,该第一主滚轮与该第二主滚轮在垂直方向上的位置不变。
13.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,该线锯切割该晶锭时,该第一辅助滚轮受该线锯带动而转动。
14.根据权利要求8所述的晶锭切割方法,其特征在于,更包括:
设置一第二辅助滚轮于该第一主滚轮与该第二主滚轮之间,且该线锯切割该晶锭时,该第一辅助滚轮与该第二辅助滚轮在该水平方向上分别位于该晶锭的两侧。
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