[发明专利]一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构

说明书

技术领域

本发明涉及磁控溅射玻璃镀膜设备，具体地说是一种用于玻璃镀 膜的弧线扫描机构。

背景技术

由于现代科技发展的需求，真空镀膜技术得到了迅猛发展。薄膜 技术可改变工件表面性能，提高工件的耐磨损、抗氧化、耐腐蚀等性 能，延长工件使用寿命，具有很高的经济价值。其中，磁控溅射自问 世后就获得了迅速的发展和广泛的应用，有力地冲击了其它镀膜方法 的地位；但是，对于非平面、大面积的曲面异形玻璃结构，存在着成 膜质量差的问题，其中均匀性差是主要的问题。

发明内容

为了解决现有异形(非平面、大面积的曲面)玻璃磁控溅射镀膜 存在的均匀性差的问题，本发明的目的在于提供一种用于玻璃镀膜的 弧线扫描机构。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括水平动力输入组件、水平滚珠丝杠、水平丝母、水平 支架、竖直动力输入组件、传动机构、竖直滚珠丝杠、竖直丝母及磁 控靶连接座，其中水平动力输入组件的输出端与水平滚珠丝杠连接、 驱动水平滚珠丝杠旋转，所述水平支架安装在与水平滚珠丝杠螺纹连 接的水平丝母上，随该水平丝母沿所述水平滚珠丝杠水平往复移动； 所述竖直丝母安装在水平支架上，所述竖直滚珠丝杠与竖直丝母螺纹 连接，所述磁控靶连接座连接于该竖直滚珠丝杠的顶部，所述竖直动 力输入组件安装在磁控靶连接座上，并通过所述传动机构驱动所述竖 直滚珠丝杠旋转，进而实现竖直滚珠丝杠、磁控靶连接座及竖直动力 输入组件共同沿竖直方向升降，且随所述水平支架水平往复移动；安 装在所述磁控靶连接座上的磁控靶随磁控靶连接座移动。

其中：所述水平支架上连接有拖链，该拖链内穿有连接线缆；所 述水平支架移动方向的两侧均设有相平行的导轨，该水平支架下表面 的两侧均安装有滚轮，所述水平支架通过滚轮沿所述导轨水平往复移 动；所述水平丝母固接于水平支架的下表面，并位于两侧滚轮之间； 任一侧的所述导轨的内侧设有固定架，所述水平滚珠丝杠的两端分别 与固接在该固定架两端的安装座转动连接，所述水平滚珠丝杠的任一 端与所述水平动力输入组件的输出端相连；

所述竖直丝母固接在水平支架上，所述竖直滚珠丝杠可升降地与 该竖直丝母螺纹连接；所述竖直动力输入组件的顶部固接于磁控靶连 接座的下表面；所述传动机构为链轮链条机构，包括第一链轮、链条 及第二链轮，该第一链轮连接于所述竖直动力输入组件的输出端，所 述第二链轮连接于所述竖直滚珠丝杠上，并通过所述链条与第一链轮 相连接；所述竖直滚珠丝杠的周围均布有多根导柱，各所述导柱的上 端固接于所述磁控靶连接座的下表面、随磁控靶连接座共同升降，下 端由所述水平支架上的导套穿过。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明引入水平和竖直运动，带动磁控靶在溅射的同时随异 形玻璃表面形状进行二维运动，解决了现有曲面异形玻璃磁控溅射镀 膜存在的均匀性差的问题。

2.本发明的水平支架与水平运动的组件之间设置了拖链，连接 线缆固定在拖链中，保证运动动力输入和信号输入输出稳定可靠。

3.本发明的运动机构和动力机构均设置在真空室的内部，使设 备的结构简单、紧凑，降低真空室的加工成本。

4.本发明采用滚珠丝杠与丝母传动，摩擦损失小、传动效率高、 精度高，通过引入导轨，使磁控靶平稳运动，结构稳定可靠。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

其中：1为水平动力输入组件，2为水平滚珠丝杠，3为水平支 架，4为导轨，5为竖直动力输入组件，6为链轮链条机构，7为竖直 滚珠丝杠，8为磁控靶连接座，9为水平丝母，10为拖链，11为竖直 丝母，12为安装座，13为固定架，14为滚轮，15为导柱，16为导 套。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。