[发明专利]一种用于多晶硅片酸制绒的添加剂及使用方法

权利要求书

1.一种用于多晶硅片酸制绒的添加剂，其特征在所述添加剂包含的组分为：全氟非离子型表面活性剂、多元醇、柠檬酸和水，其中全氟非离子型表面活性剂与水的重量比为0.01～5:100，多元醇与水的重量比为0.05～5:100，柠檬酸与水的重量比为0.05～5:100。

2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅片酸制绒的添加剂，其特征在于：所述的水为去离子水。

3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅片酸制绒的添加剂，其特征在于：所述的多元醇为含4～8个羟基的多元醇其中的一种或多种的组合。

4.一种应用权利要求1至3任一项所述的用于多晶硅片酸制绒的添加剂进行酸制绒的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将全氟非离子型表面活性剂、多元醇、柠檬酸与水配成多晶硅片酸制绒的添加剂；

2）将氢氟酸、硝酸与水配置成酸制绒溶液；

3）将步骤1）制得的添加剂加入步骤2）制得的酸制绒液中；

4）将硅片放入到步骤3）制得的酸制绒溶液中进行制绒。

5.根据权利要求4所述的一种应用添加剂进行酸制绒的方法，其特征在于：在步骤（3）所述的添加剂与酸制绒液的重量比为0.5～2:100。

6.根据权利要求4所述的一种应用添加剂进行酸制绒的方法，其特征在于：在步骤（4）所述的制绒温度为0～25℃，优选2～10℃，制绒时间为50～200s。