[发明专利]一种用于扩散炉的防爆源瓶

权利要求书

1.一种用于扩散炉的防爆源瓶，所述源瓶用于装存反应源，其通过进气管路连通至载气源，用于向所述源瓶内通入载气，通过出气管路连通至所述扩散炉的工艺管，用于向所述工艺管通出由载气携带的反应源气体，其特征在于，所述进气管路设有压力传感器，用于检测所述源瓶内的压力，所述出气管路并联设有泄压分路,所述泄压分路设有泄压阀,所述泄压阀具有第一开度，所述压力传感器、所述泄压阀分别连接压力控制器；所述压力控制器通过判断所述压力传感器采集的所述源瓶内的压力是否超过阈值，控制所述泄压阀的开度；其中，当所述源瓶内的压力超过阈值时，执行调整所述泄压阀至第二开度，将所述源瓶内的气体由所述泄压分路排出，对所述源瓶进行泄压，使所述源瓶内的压力符合设定值，当泄压后所述源瓶内的压力符合设定值时，执行调整所述泄压阀恢复至第一开度。

2.根据权利要求1所述的防爆源瓶，其特征在于，在所述压力传感器和所述源瓶之间的所述进气管路设有第一气体流向控制单元，在所述源瓶和所述泄压分路之间的所述出气管路设有第二气体流向控制单元。

3.根据权利要求2所述的防爆源瓶，其特征在于，所述第一气体流向控制单元可限制所述源瓶内的气体通过所述进气管路回流至载气源，所述第二气体流向控制单元可限制所述出气管路的气体回流至所述源瓶内。

4.根据权利要求3所述的防爆源瓶，其特征在于，所述第一气体流向控制单元、第二气体流向控制单元为单向阀。

5.根据权利要求2所述的防爆源瓶，其特征在于，在所述第一气体流向控制单元和所述源瓶之间的所述进气管路设有第一气体导通控制单元，在所述源瓶和所述第二气体流向控制单元之间的所述出气管路设有第二气体导通控制单元。

6.根据权利要求5所述的防爆源瓶，其特征在于，所述第一气体导通控制单元可控制所述进气管路中的载气向所述源瓶的输入或停止，所述第二气体导通控制单元可控制所述出气管路中的反应源气体向扩散炉工艺管的输出或停止。

7.根据权利要求6所述的防爆源瓶，其特征在于，所述第一气体导通控制单元、第二气体导通控制单元为截止阀。

8.根据权利要求1所述的防爆源瓶，其特征在于，所述泄压分路通过所述泄压阀保持导通状态，并作为断电时的过压保护泄压通道，当发生断电时，所述源瓶内的气体在压差的作用下可由所述泄压分路自行排出。

9.根据权利要求8所述的防爆源瓶，其特征在于，所述泄压阀为电磁阀。

10.根据权利要求1～9任意一项所述的防爆源瓶，其特征在于，所述源瓶内的压力设定值为0.1～0.9bar之间的一个单值或一个具有限值的区间。