[发明专利]一种基于可控硅的静电放电保护电路有效
申请号: | 201410638547.4 | 申请日: | 2014-11-06 |
公开(公告)号: | CN104392989A | 公开(公告)日: | 2015-03-04 |
发明(设计)人: | 王源;郭海兵;陆光易;张立忠;贾嵩;张兴 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H02H9/04 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 薛晨光 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 可控硅 静电 放电 保护 电路 | ||
技术领域
本发明涉及集成电路芯片静电放电(Electronic Static Discharge,ESD)保护技术领域,尤其涉及一种基于可控硅(Silicon Controlled Rectifier,SCR)作为泄放器件的ESD保护电路。
背景技术
CMOS集成电路芯片在制造、封装、存储和正常工作中,都会有遭受到ESD冲击的可能性。ESD可分为四类,人体模型(Human Body Model,HBM)、机器模型(Machine Model,MM)、带电器件模型(Charged Device Model,CDM)、场感应模型(Field Induced Model,FIM)。无论哪一种情况,都能在极短的时间内对芯片造成不可逆的损伤。所以,ESD保护电路是保证芯片不受静电损坏的不可或缺的一部分。特别是工艺的需求导致栅氧化层越来越薄,进而击穿电压越来越低,这对ESD保护电路有效性的要求越来越高。当ESD事件发生时,ESD保护电路能够迅速开启,为静电荷泄放提供一个低阻通道,并保证其钳位电压在一个安全范围内;当正常上电和工作时,ESD保护电路应该保持关闭,并保持其漏电电流在很低的水平。在ESD设计中,为了应对不同情况下的ESD冲击模式,在输入压焊点和地之间也需要ESD保护电路。
可控硅SCR器件作为泄放器件,能够用最小的面积实现最大的泄放能力,因此被广泛使用。可控硅SCR的基本结构如图1(a)、(b)、(c)所示。然而单个可控硅SCR器件的触发电压高达几十伏特,并不能单独在IC芯片中使用。为了解决可控硅SCR器件触发困难的问题,主要有两种触发方式:瞬态触发和直流触发。两种触发方式各有优点,瞬态触发的触发速度快,但容易受到高频噪声的影响从而导致大的漏电;直流触发抗干扰能力强,但必须达到触发电压才能触发,触发速度较瞬态触发慢。目前,有两方面值得研究者继续研究:一是触发电路的集成面积如何做得更小,二是整体的漏电如何做得更低。
图2所示为先前技术提供的基于可控硅SCR的直流触发ESD保护电路结构示意图。可控硅SCR被应用于输入压焊点和Vss之间,二极管D1、D2和三极管Qnpn的发射极-基极构成的二极管链为二极管直流触发模块。当输入压焊点上的电压达到直流触发电压Vtri(DC),可控硅SCR被触发导通,形成低阻导电通道,进而泄放静电荷。可控硅SCR导通后可以自动维持开启状态,直至输入压焊点上的电压小于可控硅SCR的维持电压,可控硅SCR自动关闭。其中,二极管D1的位置可以调整可控硅SCR的维持电压。D1处于现在图2所示的位置时,其导通电压计算在维持电压之中;D1移到D2支线的位置时,其导通电压不计算在维持电压之中。
在正常工作时,可控硅SCR保持关闭,直流触发模块有漏电存在。但是,由于达林顿效应的存在,使得芯片在正常工作时通过二极管链的漏电流十分可观。如图3所示,当直流触发的可控硅SCR应用在输入压焊点和Vss之间时,如果输入压焊点上的信号处于高电平1,二极管D1与衬底构成的寄生三极管Q1的基极之间的漏电为IB1时,总的漏电为(1+β)3IB1。
因此,针对以上不足,本文提供一种基于可控硅的静电放电保护电路。在设计直流触发的可控硅ESD保护电路时,有效的减少了正常工作时的漏电;在ESD冲击来临时,可控硅仍能有效触发。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是以往直流触发ESD保护电路,在正常工作状态下漏电较大,在ESD冲击来临时不能迅速开启泄放器件的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种。该基于可控硅的静电放电电路包括泄放器件可控硅,以及PMOS晶体管MP;其中,所述PMOS晶体管MP的源极与正向偏置的二极管D2的n端相连,所述PMOS晶体管MP的漏极接地,所述PMOS晶体管MP的栅极与电源管脚VDD相连;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的