[发明专利]一种基于可控硅的静电放电保护电路有效

专利信息
申请号: 201410638547.4 申请日: 2014-11-06
公开(公告)号: CN104392989A 公开(公告)日: 2015-03-04
发明(设计)人: 王源;郭海兵;陆光易;张立忠;贾嵩;张兴 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H02H9/04
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 薛晨光
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 可控硅 静电 放电 保护 电路
【说明书】:

技术领域

发明涉及集成电路芯片静电放电(Electronic Static Discharge,ESD)保护技术领域,尤其涉及一种基于可控硅(Silicon Controlled Rectifier,SCR)作为泄放器件的ESD保护电路。

背景技术

CMOS集成电路芯片在制造、封装、存储和正常工作中,都会有遭受到ESD冲击的可能性。ESD可分为四类,人体模型(Human Body Model,HBM)、机器模型(Machine Model,MM)、带电器件模型(Charged Device Model,CDM)、场感应模型(Field Induced Model,FIM)。无论哪一种情况,都能在极短的时间内对芯片造成不可逆的损伤。所以,ESD保护电路是保证芯片不受静电损坏的不可或缺的一部分。特别是工艺的需求导致栅氧化层越来越薄,进而击穿电压越来越低,这对ESD保护电路有效性的要求越来越高。当ESD事件发生时,ESD保护电路能够迅速开启,为静电荷泄放提供一个低阻通道,并保证其钳位电压在一个安全范围内;当正常上电和工作时,ESD保护电路应该保持关闭,并保持其漏电电流在很低的水平。在ESD设计中,为了应对不同情况下的ESD冲击模式,在输入压焊点和地之间也需要ESD保护电路。

可控硅SCR器件作为泄放器件,能够用最小的面积实现最大的泄放能力,因此被广泛使用。可控硅SCR的基本结构如图1(a)、(b)、(c)所示。然而单个可控硅SCR器件的触发电压高达几十伏特,并不能单独在IC芯片中使用。为了解决可控硅SCR器件触发困难的问题,主要有两种触发方式:瞬态触发和直流触发。两种触发方式各有优点,瞬态触发的触发速度快,但容易受到高频噪声的影响从而导致大的漏电;直流触发抗干扰能力强,但必须达到触发电压才能触发,触发速度较瞬态触发慢。目前,有两方面值得研究者继续研究:一是触发电路的集成面积如何做得更小,二是整体的漏电如何做得更低。

图2所示为先前技术提供的基于可控硅SCR的直流触发ESD保护电路结构示意图。可控硅SCR被应用于输入压焊点和Vss之间,二极管D1、D2和三极管Qnpn的发射极-基极构成的二极管链为二极管直流触发模块。当输入压焊点上的电压达到直流触发电压Vtri(DC),可控硅SCR被触发导通,形成低阻导电通道,进而泄放静电荷。可控硅SCR导通后可以自动维持开启状态,直至输入压焊点上的电压小于可控硅SCR的维持电压,可控硅SCR自动关闭。其中,二极管D1的位置可以调整可控硅SCR的维持电压。D1处于现在图2所示的位置时,其导通电压计算在维持电压之中;D1移到D2支线的位置时,其导通电压不计算在维持电压之中。

在正常工作时,可控硅SCR保持关闭,直流触发模块有漏电存在。但是,由于达林顿效应的存在,使得芯片在正常工作时通过二极管链的漏电流十分可观。如图3所示,当直流触发的可控硅SCR应用在输入压焊点和Vss之间时,如果输入压焊点上的信号处于高电平1,二极管D1与衬底构成的寄生三极管Q1的基极之间的漏电为IB1时,总的漏电为(1+β)3IB1

因此,针对以上不足,本文提供一种基于可控硅的静电放电保护电路。在设计直流触发的可控硅ESD保护电路时,有效的减少了正常工作时的漏电;在ESD冲击来临时,可控硅仍能有效触发。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是以往直流触发ESD保护电路,在正常工作状态下漏电较大,在ESD冲击来临时不能迅速开启泄放器件的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题,本发明提供了一种。该基于可控硅的静电放电电路包括泄放器件可控硅,以及PMOS晶体管MP;其中,所述PMOS晶体管MP的源极与正向偏置的二极管D2的n端相连,所述PMOS晶体管MP的漏极接地,所述PMOS晶体管MP的栅极与电源管脚VDD相连;

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