[发明专利]一种基于四向虚光栅的二维干涉图相位提取方法有效

专利信息
申请号: 201410642147.0 申请日: 2014-11-11
公开(公告)号: CN104359563A 公开(公告)日: 2015-02-18
发明(设计)人: 刘克;陈晨;李艳秋 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 刘芳;仇蕾安
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 光栅 二维 干涉 相位 提取 方法
【权利要求书】:

1.一种基于四向虚光栅的二维干涉图相位提取方法,其特征在于,具体步骤为: 

步骤101、设定两个参考频率,基于所述参考频率生成四种含一定相移量的多幅参考干涉图,将所述参考干涉图称为虚光栅; 

步骤102、将待处理干涉图与每一虚光栅相乘,得到多幅莫尔条纹图; 

步骤103、针对每一莫尔条纹图提取其低频部分,获得低频莫尔条纹强度图,对低频莫尔条纹强度图进行移相计算,获取待处理干涉图的相位。 

2.根据权利要求1所述二维干涉图相位提取方法,其特征在于,将所述两个参考频率设定为与待处理干涉图x,y方向载频fx、fy相近的频率。 

3.根据权利要求1所述二维干涉图相位提取方法,其特征在于,设定的两个参考频率分别为frx和fry,且frx与待处理干涉图x方向载频fx相近,fry与待处理干涉图y方向载频fy相近。 

4.根据权利要求3所述二维干涉图相位提取方法,其特征在于,步骤101中生成的参考干涉图为16幅,分别为 

其中,

5.根据权利要求1所述二维干涉图相位提取方法,其特征在于,所述获得低频莫尔条纹强度图的具体过程为: 

首先,对每一莫尔条纹图进行傅里叶变换,得到莫尔条纹图的频谱; 

其次,采用低通滤波器滤出每一频谱中的低频部分,再对低频部分进行逆傅里叶变换,得到多种低频莫尔条纹强度图。 

6.根据权利要求1所述二维干涉图相位提取方法,其特征在于,对每一种低频莫尔条纹强度图的移相计算为采用四步移相算法实现。 

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