[发明专利]一种传感器元件的制造方法

权利要求书

1.一种传感器元件的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将加热器调至150-200℃，在外侧覆盖板上印制聚酰亚胺薄膜、云母板石棉等绝缘层材料，烘干5-8小时得到绝缘的外侧覆盖板；

2）设定外侧覆盖板和电极基片之间的距离为2-4cm，作为间隔反应带；

3）在间隔反应带内侧均匀地填充一层3-5mm厚度的固形材料，间隔反应层内剩余的空间用作气体通道；固形材料的主要成分为丙烯类树脂和密封性好且耐高温的石墨，丙烯类树脂的含量为 80-95wt%，石墨的含量为 5-20wt%；

4）将气体敏感涂料加热至90-120℃，压制在半导体电子元件一侧，固定于电极基片上；

5）将载有半导体电子元件的电极基片整体固定于气体通道的中央，气体敏感层正对气体输入方向；

6）按顺序摆放、组装后，在50-85℃下热压烧制，常温下冷却8-12小时，得到气体传感器元件。

2.根据权利要求1所述的一种传感器元件的制造方法，其特征在于，所述半导体电子元件含有气体敏感层，所述气体敏感层正对气体输入方向。

3.根据权利要求2所述的一种传感器元件的制造方法，其特征在于，所述气体敏感层为对氮气或氧气敏感的敏感膜。

4.根据权利要求1所述的一种传感器元件的制造方法，其特征在于，所述半导体电子元件的上下各有一层绝缘层。

5.根据权利要求2所述的一种传感器元件的制造方法，其特征在于，所述气体敏感层为有机聚合物或超分子化合物。