[发明专利]一种高分辨宽束离子注入机均匀性调节装置在审
申请号: | 201410645011.5 | 申请日: | 2014-11-07 |
公开(公告)号: | CN105575750A | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 张进学 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/04;H01J37/147 |
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地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分辨 离子 注入 均匀 调节 装置 | ||
1.一种宽带束离子注入机均匀性调节装置,其特征是,包括分析光栏(1)、 宽束平行透镜(3)、多磁极调节机构(4)和垂直扫描基片(5);所述宽束平 行透镜(3)设置在分析光栏(1)的宽带离子流(2)出口处,宽带离子流(2) 以一定张角进入宽束平行透镜(3)中;所述宽束平行透镜(3)的宽带离子流 (2)出口处设有调节通过束流偏转角度的多磁极调节机构(4),以改变离子 束到达垂直扫描基片(5)处束流水平密度分布,调节离子束水平方向束流分 布的均匀性;所述垂直扫描基片(5)设置在多磁极调节机构(4)的宽带离子 流(2)出口处,以在垂直方向对束流匀速扫描,保证束流垂直方向的均匀性。
2.根据权利要求1所述的宽带束离子注入机均匀性调节装置,其特征是, 定义磁极运动组件排列方向为x方向,磁极的运动方向为y方向,以垂直于xy 平面的方向为z方向而建立笛卡尔坐标系,z方向为束流运动方向;所述多磁 极调节机构(4)包括上下两组多级磁极运动组件,多磁极控制器(45)和工 控机(46),上下两组多级磁极运动组件之间形成扇形通道。
3.根据权利要求2所述的宽带束离子注入机均匀性调节装置,其特征是, 上下两组多级磁极运动组件中每级磁极运动组件包括伺服电机(41)、通过联 轴器(42)与伺服电机(41)相连的丝杠传动机构(43)、以及通过连接块与 丝杠传动机构(43)相连的磁极(44);所述丝杠传动机构(43)控制磁极(44) 上下运动;所述工控机(46)与多磁极控制器(45)通信控制伺服电机(41) 动作以实现对宽带离子流水平方向的束流密度调节。
4.根据权利要求2的宽带束离子注入机均匀性调节装置,其特征是,每 级磁极运动组件上均装有直线位移传感器,各直线位移传感器与多磁极控制器 (45)形成闭环,以精确控制上下相邻两个磁极(44)之间的磁极距,各磁极 (44)可单独控制。
5.根据权利要求2的宽带束离子注入机均匀性调节装置,其特征是,上 磁极运动组件及下磁极运动组件的磁极(44)中心在水平方向均匀分布,上下 对应的磁极(44)均匀错开,且相邻两个磁极(44)之间具有间隙;每个磁极 (44)水平方向xz截面的宽度g相同,长度b不同,长度方向一边对齐,另 一边整体形成一曲线,上磁极组件与下磁极组件形成曲线曲率一致。
6.根据权利要求2的宽带束离子注入机均匀性调节装置,其特征是,在 垂直方向xy截面内各磁极(44)初始位置以6~8°张角排列以形成扇形通道。
7.根据权利要求2的宽带束离子注入机均匀性调节装置,其特征是,所述 磁极(44)由DT4材料制成,其形状为长方体,每个磁极的高度相同。
8.根据权利要求1~7之一的宽带束离子注入机均匀性调节装置,其特征 是,所述多磁极调节机构(4)与垂直扫描基片(5)之间的距离为500mm~70mm。
9.根据权利要求1~7之一的宽带束离子注入机均匀性调节装置,其特征 是,所述宽束平行透镜(3)的宽带离子流(2)通道呈弧形。
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