[发明专利]振动片、振子以及传感器

说明书

本申请是申请日为2011年4月7日，申请号为201110086238.7，发明名称为“振动片以及振子”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及振动片以及具有该振动片的振子。

背景技术

以往，公知有如下的振动片：该振动片具有振动臂以及结合振动臂的基部，在振动臂与基部的结合部设有关于振动臂的振动中心对称的锥形部(例如参照专利文献1)。

【专利文献1】日本特开2005-5896号公报

在这样的专利文献1中，通过在振动臂与基部的结合部设置锥形部，由此抑制了基本振动的泄漏，从而提高了Q值，不会对振动模式造成影响。并且，专利文献1的目的在于，防止振动片受到冲击力时发生损坏，并防止振动模式的劣化。

但是，在实际地设置锥形部的情况下，有时会由于锥形部的形状而使Q值劣化。这是由以下原因导致的，即：与通过设置锥形部带来的振动泄漏的抑制效果即Q值的上升相比，由锥形部的形状引起的热弹性损失更高。

发明内容

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为以下方式或应用例来实现。

[应用例1]本应用例的振动片的特征在于，该振动片具有：至少一个振动臂，其进行弯曲振动；基部，其结合所述振动臂的端部；以及锥形部，其关于所述振动臂的振动中心对称，随着从所述锥形部与所述振动臂的结合部靠近所述锥形部与所述基部的结合部，该锥形部的宽度变宽，当用L表示所述振动臂的长度、用W表示所述振动臂的宽度、用Lt表示所述锥形部的长度、用Wt表示所述锥形部的宽度时，利用锥形长度占有率η＝Lt/L和锥形宽度占有率ξ＝2Wt/W来规定所述锥形部的形状。

根据本应用例，利用锥形长度占有率η和锥形宽度占有率ξ来规定锥形部的形状，由此，可找出能够抑制热弹性损失的锥形形状，其结果，与未设置锥形部的情况相比，或者与简单地设置锥形部的情况相比，提高了Q值，从而能够实现具有稳定的振动模式的振动片。

[应用例2]上述应用例的振动片优选为，对于处于0.0168≦η≦0.1680的范围的所述锥形长度占有率η，所述锥形宽度占有率ξ处于以下范围：

2.409η²+4.728×10^-2η+2.959×10^-2≤ξ≤-4.723×10¹η²+1.434×10¹η+1.711×10^-2，

所述锥形部的形状由连接所述锥形部与所述振动臂的结合位置和所述锥形部与所述基部的结合位置的直线或曲线形成。

通过相对于锥形长度占有率η将锥形宽度占有率ξ设定在这样的范围内，由此，与未设置锥形部时的Q值相比，能够得到大约1.1倍的Q值。

[应用例3]上述应用例的振动片优选为，对于处于0.0168≦η≦0.1680的范围的所述锥形长度占有率η，所述锥形宽度占有率ξ处于以下范围：

9.417η²-6.358×10^-1η+9.984×10^-2≤ξ≤-5.255×10¹η²+1.394×10¹η-1.219×10^-1，

所述锥形部的形状由连接所述锥形部与所述振动臂的结合位置和所述锥形部与所述基部的结合位置的直线或曲线形成。

这样，通过相对于锥形长度占有率η将锥形宽度占有率ξ设定在这样的范围内，由此，与未设置锥形部时的Q值相比，能够得到大约1.2倍的Q值。

[应用例4]上述应用例的振动片优选为，对于处于0.0504≦η≦0.1260的范围的所述锥形长度占有率η，所述锥形宽度占有率ξ处于以下范围：

5.191×10¹η²-6.959η+4.339×10^-1≤ξ≤-9.160×10¹η²+1.899×10¹η-4.679×10^-1，

所述锥形部的形状由连接所述锥形部与所述振动臂的结合位置和所述锥形部与所述基部的结合位置的直线或曲线形成。

这样，通过相对于锥形长度占有率η将锥形宽度占有率ξ设定在这样的范围内，由此，与未设置锥形部时的Q值相比，能够得到大约1.3倍的Q值。