[发明专利]一种坩埚用加热装置、坩埚和蒸发源有效
| 申请号： | 201410646051.1 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104357797A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 马群;闵天奎;张朝波;张毅 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 加热 装置 蒸发 | ||
1.一种坩埚用加热装置，包括用于容纳所述坩埚的容纳腔，其特征在于，还包括设置于所述容纳腔内的中部加热器，用于为位于所述坩埚中部的蒸镀材料进行加热。
2.根据权利要求1所述的坩埚用加热装置，其特征在于，所述容纳腔由底壁和侧壁围成，所述中部加热器设置于所述底壁内侧的中部。
3.根据权利要求2所述的坩埚用加热装置，其特征在于，所述中部加热器为杆状。
4.根据权利要求3所述的坩埚用加热装置，其特征在于，所述中部加热器包括加热温度可分别控制的上加热部和下加热部。
5.根据权利要求2所述的坩埚用加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括紧贴所述侧壁外侧设置的侧面加热器，所述侧面加热器包括加热温度可分别控制的上加热部和下加热部。
6.一种坩埚，包括用于盛放蒸镀材料的坩埚主体腔，其特征在于，还包括用于容置中部加热器的容置结构，以便为位于所述坩埚主体腔中部的蒸镀材料进行加热。
7.根据权利要求6所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚主体腔由底壁和侧壁围成，所述容置结构由所述底壁的中部向坩埚主体腔内凹陷而成。
8.一种蒸发源，包括坩埚和用于为所述坩埚加热的加热装置，其特征在于，所述加热装置为权利要求1-5任一项所述的加热装置，所述坩埚为权利要求6或7所述的坩埚。
9.如权利要求8所述的蒸发源，其特征在于，所述蒸发源用于发光二极管器件的蒸镀。
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