[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动元件，其特征在于，

该振动元件包含：

基部；以及

振动臂，其在俯视时从所述基部延伸，在互为正反关系的第1主面以及第2主面上设置有槽，

所述振动臂包含：

锤部；以及

臂部，其在俯视时被配置在所述基部与所述锤部之间，

在设所述振动臂的厚度为T、

俯视时所述振动臂的外缘与所述槽之间的沿着与所述主面的所述延伸的方向垂直的方向的宽度为W、

所述槽的深度的合计为ta、

ta/T为η时，

在所述振动臂的所述延伸的方向的至少一部分中，存在满足

4.236×10×η²-8.473×10×η+4.414×10[μm]≤W[μm]

≤-3.367×10×η²+7.112×10×η-2.352×10[μm]

且0.75≤η＜1.00的区域，

在设所述振动臂的沿着所述延伸的方向的长度为L，

所述锤部的沿着所述延伸的方向的长度为H时，

满足0.012＜H/L＜0.30。

2.一种振动元件，其特征在于，

该振动元件包含：

基部；以及

振动臂，其在俯视时从所述基部延伸，在互为正反关系的第1主面以及第2主面上设置有槽，

所述振动臂包含：

锤部；以及

臂部，其在俯视时被配置在所述基部与所述锤部之间，

在设所述振动臂的厚度为T、

俯视时所述振动臂的外缘与所述槽之间的沿着与所述主面的所述延伸的方向垂直的方向的宽度为W、

所述槽的深度的合计为ta、

ta/T为η时，

在所述振动臂的所述延伸的方向的至少一部分中，存在满足

4.236×10×η²-8.473×10×η+4.414×10[μm]≤W[μm]

≤-3.367×10×η²+7.112×10×η-2.352×10[μm]

且0.75≤η＜1.00的区域，

在设所述振动臂的沿着所述延伸的方向的长度为L、

所述锤部的沿着所述延伸的方向的长度为H时，

满足0.183≤H/L≤0.597。

3.根据权利要求1或2所述的振动元件，其特征在于，

所述振动臂的厚度为110μm以上且150μm以下。

4.根据权利要求1或2所述的振动元件，其特征在于，

所述振动臂由一对振动臂构成，

具有如下基本振动模式：所述一对振动臂以交替反复地彼此接近和背离的方式，沿着所述垂直的方向弯曲振动，

在设所述基本振动模式的谐振频率为f0、

与所述基本振动模式不同的振动模式的谐振频率为f1时，

满足|f0-f1|/f0≥0.124的关系。

5.根据权利要求1或2所述的振动元件，其特征在于，

所述槽具有深度固定的底面。

6.根据权利要求1或2所述的振动元件，其特征在于，

所述槽的深度不是固定的。

7.一种振子，其特征在于，该振子具有：

权利要求1或2所述的振动元件；以及

收纳所述振动元件的封装。

8.一种振荡器，其特征在于，该振荡器具有：

权利要求1或2所述的振动元件；以及

与所述振动元件电连接的振荡电路。

9.一种电子设备，其特征在于，

该电子设备具有权利要求1或2所述的振动元件。

10.一种移动体，其特征在于，

该移动体具有权利要求1或2所述的振动元件。