[发明专利]显示器件转印定位装置及其方法有效
申请号: | 201410649420.2 | 申请日: | 2014-11-14 |
公开(公告)号: | CN104465474B | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 朱涛;葛泳;刘玉成;刘雪洲 | 申请(专利权)人: | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 器件 定位 装置 及其 方法 | ||
1.一种显示器件转印定位装置,用于将芯片转印定位到基板上,其特征在于,所述显示器件转印定位装置包括:
转印头,位于所述基板上方,用于将芯片转印到所述基板的表面上;
电容组件,所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元,所述第一电极阵列设置在所述基板上,所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上,所述第一电极阵列包括至少一个第一电极单元,所述第一电极单元在所述第一电极阵列的一个方向上相互连接,在另一个方向上,各个第一电极单元是相互独立的,且所述另一个方向上的相邻两个所述第一电极单元之间形成互感电容。
2.根据权利要求1所述的显示器件转印定位装置,其特征在于,所述第一电极单元的形状为多边形。
3.根据权利要求1所述的显示器件转印定位装置,其特征在于,所述感应单元为电容传感器,用于感应所述第一电极阵列的互感电容。
4.根据权利要求1所述的显示器件转印定位装置,其特征在于,所述感应单元为第二电极阵列,用于和所述第一电极阵列之间形成互感电容。
5.根据权利要求4所述的显示器件转印定位装置,其特征在于,所述第二电极阵列包括至少一个第二电极单元。
6.一种显示器件转印定位方法,其特征在于,所述方法包括:
制作电容组件,其中,所述电容组件包括第一电极阵列,以及与所述第一电极阵列对应的感应单元,在基板上制作第一电极阵列,并在转印头上制作与所述第一电极阵列对应的感应单元,并将所述第一电极阵列和所述感应单元接入到控制电路中;
在所述基板垂直的方向上,移动所述转印头,并测量所述第一电极阵列和所述感应单元之间的互感信号值,根据预先设定的互感信号值,确定所述转印头距离所述基板的垂直高度;
测量所述感应单元和所述第一电极阵列上的各个位置之间的互感信号值,并根据所述互感信号值,定位所述转印头的水平位置。
7.根据权利要求6所述的显示器件转印定位方法,其特征在于,所述第一电极阵列包括至少一个第一电极单元,且所述第一电极单元在所述第一电极阵列在一个方向上相互连接。
8.根据权利要求6所述的显示器件转印定位方法,其特征在于,所述方法还包括根据所述转印头和所述基板之间的互感信号,确定转印到所述基板上的芯片的状态。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造