[发明专利]一种二氧化硅模板表面抗粘连的修饰方法在审

专利信息
申请号: 201410650575.8 申请日: 2014-11-14
公开(公告)号: CN104317163A 公开(公告)日: 2015-01-28
发明(设计)人: 万光会;肖延安 申请(专利权)人: 无锡英普林纳米科技有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 成立珍
地址: 214192 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 二氧化硅 模板 表面 粘连 修饰 方法
【权利要求书】:

1.一种二氧化硅模板表面抗粘连的修饰方法,其特征在于,利用气相法在二氧化硅模板表面形成全氟四氢辛基硅烷修饰层。

2.根据权利要求1所述的二氧化硅模板表面抗粘连的修饰方法,其特征在于,所述的全氟四氢辛基硅烷修饰层为单分子层。

3.根据权利要求1所述的二氧化硅模板表面抗粘连的修饰方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)预处理:先将二氧化硅模板置于体积分数为5%的盐酸溶液中清洗,取出晾干后再将其置于体积分数为5%的丙酮溶液中清洗;

(2)表面羟基化处理:将步骤(1)得到的二氧化硅模板置于H2SO3与H2O2的混合溶液中,静置10~20min;

(3)排出二氧化硅模板中的水分:将步骤(2)得到的二氧化硅模板置于无水环境中,在惰性气体的保护下加热,在200~220℃下保温15min;

(4)表面修饰:在无水环境中注入全氟四氢辛基硅气体,使全氟四氢辛基硅气体与二氧化硅模板表面充分接触,然后200~220℃下保温2~3h;

(5)冲洗表面:在无水环境中,用无水乙烷冲洗二氧化硅模板表面。

4.根据权利要求1所述的二氧化硅模板表面抗粘连的修饰方法,其特征在于,步骤(2)所述的H2SO3与H2O2的混合溶液,其中H2SO3与H2O2的体积比为7:3。

5.根据权利要求1所述的二氧化硅模板表面抗粘连的修饰方法,其特征在于,步骤(3)所述的惰性气体为氮气。

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