[发明专利]一种基于石墨烯的平面光波导偏振分束器

权利要求书

1. 一种基于石墨烯的平面光波导偏振分束器，包括绝缘层(20)，位于半导体衬底层(10)之上，Y分支位于绝缘层(20)之上；Y分支包括输入光波导(＃1)，第一分支波导(＃2)和第二分支波导(＃3)；第一石墨烯层(51)垂直嵌入于第二分支波导(＃3)中，第二石墨烯层(52)水平嵌入于第一分支波导(＃2)中；第一段波导(31)、第一石墨烯层(51)和第二段波导(32)依次被第一隔离介质层(41)、第二隔离介质层(42)隔离；第三段波导(33)、第二石墨烯层(52)和第四段波导(34)依次被第三隔离介质层(43)、第四隔离介质层(44)隔离。

2.根据权利要求1所述的基于石墨烯的平面光波导偏振分束器，其特征在于，所述Y分支将一束光信号分成两束光信号，部分或全部埋入绝缘层(20)中，第一分支波导(＃2)和第二分支波导(＃3)是对称或非对称分开。

3.根据权利要求1所述的基于石墨烯的平面光波导偏振分束器，其特征在于，所述半导体衬底层(10)、输入光波导(＃1)、第一分支波导(＃2)、第三段波导(33)、第四段波导(34)、第二分支波导(＃3)、第一段波导(31)和第二段波导(32)的材料相同，为硅、锗、锗硅合金、III-V族半导体和II-IV族半导体中的一种。

4.根据权利要求1所述的基于石墨烯的平面光波导偏振分束器，其特征在于，所述第一石墨烯层(51)、第二石墨烯层(52)为单层石墨烯或者多层石墨烯。

5.根据权利要求1所述的基于石墨烯的平面光波导偏振分束器，其特征在于，所述绝缘层（20）和第一至第四隔离介质层（41、42、43、44）材料为绝缘材料，为硅氧化物、硅氮氧化物、硼氮化物或六方硼氮化物中的一种。