[发明专利]一种固体缓蚀剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201410653662.9 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104480473A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 付朝阳;余萌;王江顺;何金杯 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C23F11/14 | 分类号： | C23F11/14 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固体 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种固体缓蚀剂，其特征在于，包括包衣蜡和固体缓蚀剂颗粒球，所述包衣蜡均匀包裹在所述固体缓蚀剂颗粒球表面，所述固体缓蚀剂颗粒球与包衣蜡的重量比在10:1～20:1之间，所述固体缓蚀剂颗粒球含有重量份数30至45份的含水的水溶性缓蚀剂、40至50份的固体粘合剂、1至5份的增效剂、以及5至10份的发泡崩解剂。
2.如权利要求1所述的固体缓蚀剂，其特征在于，所述含水的水溶性缓蚀剂为含水量20％至25％的液体缓蚀剂。
3.如权利要求1所述的固体缓蚀剂，其特征在于，所述水溶性缓蚀剂为葡萄糖酰胺缓蚀剂或咪唑啉类缓蚀剂。
4.如权利要求1所述的固体缓蚀剂，其特征在于，所述固体粘合剂为水溶性淀粉、低筋面粉、阿拉伯胶粉、羟甲基纤维素钠和/或β-环糊精。
5.如权利要求1所述的固体缓蚀剂，其特征在于，所述增效剂为亚硫酸钠、丙酮肟和/或硫脲。
6.如权利要求1所述的固体缓蚀剂，其特征在于，所述发泡崩解剂为碳酸氢钠和固体有机酸的混合物，其中碳酸氢钠和固体有机酸的质量比例在1:2至2:1之间，所述固体有机酸优选为草酸、棕榈酸和/或酒石酸。
7.如权利要求1至6任意一项所述固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
A、按照配方比例，量取相应的包衣蜡、含水的水溶性缓蚀剂、固体粘合剂、增效剂以及发泡崩解剂；
B、溶解增效剂：将增效剂溶解于水中，增效剂和水的质量比例在1:1至1:10之间，获得增效剂溶液；
C、制作辅剂面团：将固体粘合剂和发泡崩解剂均匀混合后，与步骤B中获得的增效剂溶液揉和均匀，获得辅剂面团；
D、制作缓蚀剂面团：将步骤C中获得的辅剂面团与含水的水溶性缓蚀剂揉和，获得缓蚀剂面团；
E、制备缓蚀剂颗粒球：将步骤D中获得的缓蚀剂面团，压制成缓蚀剂颗粒球，直径在5mm～8mm之间；
F、包蜡封装：对步骤E中获得的缓蚀剂颗粒球用包衣蜡进行包裹，所述固体缓蚀剂颗粒球与包衣蜡的重量比在10:1～20:1之间，制得所述固体缓蚀剂。
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