[发明专利]超声波器件及其制造方法、电子设备及超声波图像装置

权利要求书

1.一种超声波器件，其特征在于，具备：

基板，具有包含配置为阵列状的多个薄膜型超声波换能器元件的元件阵列；

声匹配层，覆盖所述元件阵列；

声透镜，配置在所述声匹配层之上；以及

结构体，与所述声透镜接触，并固定于所述基板，具有比所述声透镜的刚性模量大的刚性模量。

2.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于，

所述声匹配层与所述结构体接触，并固定于所述基板。

3.根据权利要求1或2所述的超声波器件，其特征在于，

所述结构体通过与所述声透镜的母线平行地扩展且分别与所述声透镜的侧面接触的两个侧面夹住所述声透镜。

4.根据权利要求3所述的超声波器件，其特征在于，

所述声匹配层具有与所述声透镜的侧面在同一平面上扩展的侧面。

5.根据权利要求3所述的超声波器件，其特征在于，

所述结构体通过分别与和所述声透镜的母线交叉的所述声透镜的侧面接触的两个侧面夹住所述声透镜。

6.根据权利要求5所述的超声波器件，其特征在于，

所述声匹配层具有与和所述母线交叉的所述声透镜的所述侧面在同一平面上扩展的侧面。

7.根据权利要求4所述的超声波器件，其特征在于，

与所述声透镜的母线交叉的所述声透镜的所述侧面以及所述声匹配层的所述侧面与所述基板的侧面在同一平面上。

8.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于，还具备：

柔性印刷配线板，在所述基板的厚度方向的俯视观察中，所述柔性印刷配线板在所述声匹配层的轮廓的外侧与所述基板结合，

所述结构体在所述声匹配层与所述柔性印刷配线板之间配置在所述基板上的导电体上。

9.根据权利要求8所述的超声波器件，其特征在于，

所述结构体配置在所述柔性印刷配线板上。

10.一种探测器，其特征在于，具备：

权利要求1至9中任一项所述的超声波器件；以及

壳体，支撑所述超声波器件。

11.根据权利要求10所述的探测器，其特征在于，

所述结构体固定于所述壳体。

12.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1至9中任一项所述的超声波器件；以及

处理部，与所述超声波器件连接，并处理所述超声波器件的输出。

13.一种超声波图像装置，其特征在于，具备：

权利要求1至9中任一项所述的超声波器件；

处理部，与所述超声波器件连接，处理所述超声波器件的输出并生成图像；以及

显示装置，显示所述图像。

14.一种超声波器件的制造方法，其特征在于，具备：

在具有包含配置为阵列状的多个薄膜型超声波换能器元件的元件阵列的基板上将掩蔽材料配置于在所述基板的厚度方向的俯视观察中配置所述元件阵列的区域的两侧的工序；

在所述掩蔽材料之间将声匹配层以及声透镜配置在所述元件阵列上的工序；以及

除去所述掩蔽材料并形成与所述声透镜接触且固定于所述基板、并具有比所述声透镜的刚性模量大的刚性模量的结构体的工序。

15.根据权利要求14所述的超声波器件的制造方法，其特征在于，还具备：

除去所述掩蔽材料后、在所述区域的两侧将柔性印刷配线板结合在所述区域与所述基板的边缘之间的工序；以及

使具有流动性的树脂材料流入所述声匹配层以及所述柔性印刷配线板之间并使该树脂材料固化而形成所述结构体的工序。

16.根据权利要求14或15所述的超声波器件的制造方法，其特征在于，

配置所述声透镜时，所述掩蔽材料从两侧对所述声透镜进行定位。

17.根据权利要求16所述的超声波器件的制造方法，其特征在于，

所述掩蔽材料具有开口，所述掩蔽材料对开口内的所述声透镜从四周进行定位。

18.根据权利要求17所述的超声波器件的制造方法，其特征在于，

配置所述声匹配层时，使具有流动性的树脂材料流入所述开口，所述树脂材料的厚度由所述掩蔽材料的厚度进行控制。