[发明专利]一种碳离子注入方法

权利要求书

1.一种采用离子注入机进行碳离子注入的方法，在离子注入腔室中进行，离子注入腔室包括：晶圆夹持装置，位于晶圆夹持装置下方的阴极，位于晶圆夹持装置上方的具有加速磁场的牵引电极，以及连接于离子注入腔室的真空泵，其特征在于，包括：

步骤01：将晶圆置于离子注入腔室中的夹持装置上；

步骤02：对所述离子注入腔室抽真空；

步骤03：向所述离子注入腔室通过不同管路分别通入CO₂和H₂；

步骤04：通过所述阴极激发CO₂和H₂分解，产生氢离子、碳离子、氧原子和氢原子；

步骤05：通过所述牵引电极将所述氢离子和所述碳离子吸入所述加速磁场中，同时，所述氢原子和所述氧原子反应生成水蒸气被所述真空泵抽走；

步骤06：经所述加速磁场的磁场离子质量筛选，将所述氢离子排除，同时筛选出所述碳离子；并对所述碳离子进行聚焦、扫描、加速以及离子束纯化；

步骤07：所述碳离子注入到所述晶圆内。

2.根据权利要求1所述的碳离子注入方法，其特征在于，所述步骤02中，所述抽真空至10^-7-10^-6Torr。

3.根据权利要求1所述的碳离子注入方法，其特征在于，所述步骤03中，含有H₂的负压钢瓶的连接管路将H₂通入到所述离子注入腔室中。

4.根据权利要求3所述的碳离子注入方法，其特征在于，所述步骤03中，所述H₂和CO₂的比例大于1:1，且不超过2:1。

5.根据权利要求4所述的碳离子注入方法，其特征在于，所述步骤03中，所述H₂和CO₂的比例为1.25:1～2:1。