[发明专利]用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构及方法

权利要求书

1.一种用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其包括电池片托盘（1）、上料机械手（2）、底部设有输送辊的托盘传送轨道（3）、下料机械手（4）、电池片翻面装置（5）、PECVD反应腔，其特征在于，

该电池片托盘设置于托盘传送轨道上，且该电池片托盘有多个，每个电池片托盘表面开设用于放置电池片（12）的凹槽阵列（11）；

该PECVD反应腔包括顺序设置的第一PECVD反应腔（6）和第二PECVD反应腔（7）；

该托盘传送轨道（3）包括顺序设置的第一托盘传送轨道（31）和第二托盘传送轨道（32），第一、二托盘传送轨道都呈环形状态设置，该第一PECVD反应腔、第二PECVD反应腔分别设置于第一、二托盘传送轨道的环形传送路径中间，位于第一PECVD反应腔、第二PECVD反应腔前、后侧的第一、二托盘传送轨道上分别设置上料位（31）和下料位（32）；

该上料机械手通过平行导轨滑动设置于上料位的电池片托盘上方，该下料机械手通过平行导轨滑动设置于下料位的电池片托盘上方，且该上、下料机械手采用龙门式结构，在龙门式结构的同一直线方向上安装有多个真空吸盘（22）；

该电池片翻面装置位于第一PECVD反应腔后侧的下料位与第二PECVD反应腔前侧的上料位之间，该电池片翻面装置由多个平行布置的电池片传送带（51）和同轴旋转设置的多组旋转翻面叶片（52）构成，每组旋转翻面叶片上都设有多个呈辐射状分布的叶片传送缺口（521），且各组旋转翻面叶片上的叶片传送缺口对应设置为一直线分布状态，每组旋转翻面叶片对应设置一个电池片传送带。

2.根据权利要求1所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其特征在于，该电池片托盘的凹槽阵列根据PECVD反应腔的规格尺寸确定。

3.根据权利要求1所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其特征在于，该上、下料机械手上的真空吸盘数量根据电池片托盘上的凹槽阵列的规格确定。

4.根据权利要求1所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其特征在于，该PECVD反应腔前、后侧的上料位和下料位上的电池片托盘同时进行上料和下料。

5.根据权利要求1所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其特征在于，第一、二托盘传送轨道上分别设置该电池片托盘3个。

6.一种权利要求1所述用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片方法，其特征在于包括下列步骤： 

一次上料：待上料的硅片放置于位于同一直线布置的硅片盒中，上料机械手的真空吸盘从硅片盒中吸取多片硅片，并一次性将多片硅片放置于第一PECVD反应腔前侧的上料位电池片托盘中，如此循环往复，完成电池片托盘中电池片的上料；

正面i/p层镀膜：第一托盘传送轨道将已完成电池片上料的电池片托盘输送至第一PECVD反应腔中进行正面i/p层镀膜，在电池正面i/p层镀膜工艺完成后，电池片托盘继续输送至第一PECVD反应腔后侧的下料位，下料位的电池片托盘完成下料后，由第一托盘传送轨道将电池片托盘返回至上料位，实现电池片托盘的循环利用；

一次下料：下料机械手的真空吸盘一次性从电池片托盘吸取多片硅片，同时放置于电池片翻面装置的多个电池片传送带上；

翻面：多个电池片传送带不断地同时将多个电池片传送至同轴的多个旋转翻面叶片的叶片传送缺口中，多个旋转翻面叶片同时旋转完成多个硅片的快速翻转；

二次上料：上料机械手的真空吸盘一次性吸取完成翻面的多片硅片硅片放置于第二PECVD反应腔前侧的上料位电池片托盘中，如此循环往复，完成电池片托盘中电池片的上料；

背面i/n层薄膜生长：第二托盘传送轨道将已完成电池片上料的电池片托盘输送至第二PECVD反应腔中进行背面i/n层薄膜生长，在电池背面i/n层薄膜生长工艺完成后，电池片托盘继续输送至第二PECVD反应腔后侧的下料位，下料位的电池片托盘完成下料后，由第二托盘传送轨道将电池片托盘返回至上料位，实现电池片托盘的循环利用；

二次下料：下料机械手一次性将多片硅片从第二PECVD反应腔后侧的下料位电池片托盘上吸取下料至硅片收集装置中。

7.根据权利要求6所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片方法，其特征在于，处于上料位和下料位的电池片托盘同时进行硅片上料和下料。