[发明专利]一种多注阴极灯丝刻蚀方法

权利要求书

1.一种多注阴极灯丝刻蚀方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：配制用于刻蚀反应的刻蚀溶液；

步骤2：配制用于中和处理的碱性溶液；

步骤3：将待刻蚀灯丝浸泡在步骤1所配制的刻蚀溶液中进行刻蚀处理；

步骤4：对经步骤3的已刻蚀灯丝进行刻蚀溶液残余的冲洗；

对冲洗后的已刻蚀灯丝进行抽检处理，如果抽检合格则进入步骤5，如果抽检不合格则返回步骤3；

对经返回步骤3的已刻蚀灯丝在煮沸的蒸馏水中进行刻蚀溶液残余的清洗，清洗完毕后进入步骤5；

步骤5：将经步骤4的已刻蚀灯丝浸没在步骤2所配制的碱性溶液中进行中和处理；

步骤6：对经步骤5的已中和灯丝用大量的蒸馏水进行碱性溶液残余的冲洗；

并对冲洗过的冲洗水进行PH值检测，如果PH值大于7则继续冲洗，直到PH值在7以下则进入步骤7；

步骤7：将经步骤6的已冲洗灯丝进行脱水处理；

步骤8：将经步骤7的已脱水灯丝进行干燥处理，后将已干燥灯丝进行保存。

2.根据权利要求1所述的一种多注阴极灯丝刻蚀方法，其特征在于，所述步骤1的刻蚀溶液按下列成分配制：

硫酸：1～2kg/L；

硝酸：2～3kg/L。

3.根据权利要求1所述的一种多注阴极灯丝刻蚀方法，其特征在于，所述步骤2的碱性溶液按下列成分配制：

氨水：40～60g/L。

4.根据权利要求1所述的一种多注阴极灯丝刻蚀方法，其特征在于，所述步骤3的刻蚀处理依次包括步骤：

步骤3-1：将准备好的涂覆过清漆的待刻蚀灯丝放入空的烧杯一中；

步骤3-2：将步骤1所配制的刻蚀溶液倒入烧杯一，刻蚀溶液完全浸没待刻蚀灯丝；

步骤3-3：等待浸泡在刻蚀溶液中的待刻蚀灯丝不再有气泡急剧析出，判定刻蚀处理已经完成，即可取出已刻蚀灯丝。

5.根据权利要求1所述的一种多注阴极灯丝刻蚀方法，其特征在于：所述步骤4的刻蚀溶液残余的冲洗是用流动的自来水进行冲洗，冲洗时间为3～5分钟。

6.根据权利要求1所述的一种多注阴极灯丝刻蚀方法，其特征在于：所述步骤4的抽检处理是将冲洗后的已刻蚀灯丝放置在显微镜下、放大10～15倍，对抽取到的已刻蚀灯丝、检查需要刻蚀掉的部位内是否存有钼的残余物；

所述步骤4的刻蚀溶液残余的清洗所用煮沸的蒸馏水不少于0.5L，煮沸时间持续30分钟。

7.根据权利要求1所述的一种多注阴极灯丝刻蚀方法，其特征在于：所述步骤5的中和处理具体是，将步骤2所配制的碱性溶液倒入空的烧杯二，再将经步骤4的已刻蚀灯丝完全浸没在烧杯二的碱性溶液中，并用玻璃棒不停地搅拌烧杯二中的已刻蚀灯丝，中和时间保持在5～7分钟。

8.根据权利要求1所述的一种多注阴极灯丝刻蚀方法，其特征在于：所述步骤7的脱水处理是将经步骤6的已冲洗灯丝浸没在丙酮溶液中进行脱水。

9.根据权利要求1所述的一种多注阴极灯丝刻蚀方法，其特征在于：所述步骤8的干燥处理是将装有已脱水灯丝的烧杯三放入烘箱中加热干燥，干燥时间为30～40分钟，干燥温度为100±10℃；所述步骤8的保存是将已干燥灯丝转移到干燥瓶中、盖好瓶盖进行保存。