[发明专利]发动机链条专用销轴及真空离子镀工艺

权利要求书

1.一种发动机链条专用销轴，其特征是：大动力发动机链条销轴表面采用真空离子镀工艺镀有钒镀层。

2.根据权利要求1所述的发动机链条专用销轴，其特征是：所述大动力发动机链条销轴表面镀钒深度为1-3μm且镀层厚度均匀。

3.一种发动机链条专用销轴真空离子镀工艺，其特征是：镀前利用离子轰击溅射清洗方法对大动力发动机链条销轴表面进行处理，然后将销轴放于真空室内采用弧光放电技术，在阴极与阳极之间加上一定的电压后，使两者之间形成等离子场，作为阴极的镀膜材料钒表面产生弧光且蒸发形成金属原子，金属原子进入等离子场时受到电子撞击而电离为金属离子，在电场作用下，金属离子高速轰击作为阳极的销轴表面的同时，往真空室内通入氮气或碳氢化合物即可在销轴表面形成具有优良性能的氮化钒或碳化钒镀层。

4.一种发动机链条专用销轴真空离子镀装置，其特征是：真空室（1）分两个区域，分别为电子束热丝发射室（Ⅰ）和工件镀膜室（Ⅱ），两个区间用差压板（2）隔开，差压板（2）一侧放置电子束蒸发源（13）和电子枪（11），真空室内装备了一个真空机（12），差压板（2）另一侧装有活化电极（4）与电源（9）的正极相连接，在活化电极（4）右侧装有电动机（8），销轴插孔盘（6）上有10个深度为1mm的凹孔，每个凹孔可以稳定放置一个待镀销轴（5），销轴插孔盘下面有加热托盘（7），加热托盘（7）通过杆子与电动机（8）连接，电动机（8）另一端与电源（9）负极相连且杆子与电源（9）有回路，工件镀膜室（Ⅱ）一侧有反应气体入口（3）。

5.根据权利要求4所述的一种发动机链条专用销轴真空离子镀装置，其特征是：在活化电极（4）通过滑动变阻器（10）与电源（9）连接。