[发明专利]有机发光二极管显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种有机发光二极管显示装置，包括：

一第一基板；

一有机发光元件，设置于该第一基板上，该有机发光元件包括：

一第一电极，设置于该第一基板上；

一有机发光层，设置于该第一电极上；及

一第二电极，设置于该有机发光层上；

一第一无机层，覆盖该有机发光元件且与该第二电极接触，其中该第一无机层具有一第一厚度；以及

第二无机层，覆盖该第一无机层，其中该第二无机层具有一第二厚度，该第二厚度大于该第一厚度，且该第二无机层的致密度小于该第一无机层的致密度。

2.如权利要求1所述的有机发光二极管显示装置，其特征在于，以一蚀刻剂蚀刻该第一无机层和该第二无机层时，该第一无机层的蚀刻速率小于该第二无机层的蚀刻速率。

3.如权利要求1所述的有机发光二极管显示装置，其特征在于，该第一无机层由化学沉积制程形成，该第二无机层由物理沉积制程形成。

4.如权利要求3所述的有机发光二极管显示装置，其特征在于，该第一厚度为100～500埃，该第二厚度为4000～5000埃。

5.如权利要求4所述的有机发光二极管显示装置，其特征在于，该第一厚度为100～200埃。

6.如权利要求5所述的有机发光二极管显示装置，其特征在于，该第一无机层和该第二无机层分别包括氧化物或氮化物。

7.如权利要求1所述的有机发光二极管显示装置，其特征在于，还包括：

一吸湿材料层，设置于该第二无机层上

一封胶层，包覆该第二无机层与该吸湿材料层。

8.一种有机发光二极管显示装置的制造方法，包括：

提供一第一基板；

设置一有机发光元件于该第一基板上，包括：

设置一第一电极于该第一基板上；

设置一有机发光层于该第一电极上；及

设置一第二电极于该有机发光层上；

形成一第一无机层于该第二电极上，其中该第一无机层具有一第一厚度，且该第一无机层以一化学沉积制程制作；以及

形成一第二无机层于该第一无机层上并覆盖该第一无机层与该有机发光元件，其中该第二无机层具有一第二厚度，该第二厚度大于该第一厚度，且该第二无机层以一物理沉积制程制作。

9.如权利要求8所述的有机发光二极管显示装置的制造方法，其特征在于，该第二无机层形成于该第一无机层上并直接接触该第一无机层。

10.如权利要求9所述的有机发光二极管显示装置的制造方法，其特征在于，第二无机层的致密度小于该第一无机层的致密度。