[发明专利]辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法

权利要求书

1.一种辐射式蒸发加热器，其特征在于，包括加热室、蒸发皿和电源连接器件，所述蒸发皿连接于所述加热室或与所述加热室一体成型，所述加热室具有加热腔，所述加热腔与所述蒸发皿之间相隔开，所述加热腔内设置有通过辐射对所述蒸发皿进行加热的加热器件，所述加热器件连接于所述电源连接器件。

2.如权利要求1所述的辐射式蒸发加热器，其特征在于，所述加热器件包括加热支架和加热丝，所述加热丝连接于加热支架，所述电源连接器件连接于所述加热支架。

3.如权利要求2所述的辐射式蒸发加热器，其特征在于，所述加热丝为钨丝。

4.如权利要求1至3中任一项所述的辐射式蒸发加热器，其特征在于，所述加热室内注入有纯碘。

5.如权利要求1至3中任一项所述的辐射式蒸发加热器，其特征在于，所述蒸发皿与所述加热室一体烧制成型。

6.如权利要求5所述的辐射式蒸发加热器，其特征在于，所述蒸发皿与所述加热室采用石英材料一体烧制成型。

7.如权利要求2或3所述的辐射式蒸发加热器，其特征在于，所述电源连接器件包括电源套和导电连接片，所述导电连接片连接于所述加热支架，所述电源套套设于所述导电连接片外。

8.如权利要求7所述的辐射式蒸发加热器，其特征在于，所述导电连接片为钼片。

9.如权利要求7所述的辐射式蒸发加热器，其特征在于，所述加热丝焊接于所述加热支架的上端，所述加热支架的下端焊接于所述导电连接片的上端。

10.一种辐射式蒸发加热器的制造方法，其特征在于，用于制造如权利要求1至9中任一项所述的辐射式蒸发加热器，包括以下步骤，制备石英管、加热丝、加热支架、导电连接片和电源套，对石英管加热至软化，采用模具将软化的石英管成型蒸发皿和加热室，采用点焊的方式将加热丝焊接于加热支架形成加热器件，采用点焊的方式将导电连接片焊接于所述加热支架，对加热室进行抽真空并充入纯碘，将加热室与蒸发皿采用烧结的方式连接成型；将电源套连接于导电连接片外侧。