[发明专利]一种涂布装置及涂布方法

权利要求书

1.一种涂布装置，所述涂布装置包括喷嘴，其特征在于，所述涂布装置还包括工作真空室，所述喷嘴位于所述工作真空室内部。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述工作真空室包括位于所述工作真空室顶部的真空发生器。

3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述工作真空室还包括位于所述工作真空室两侧的第一舱门和第二舱门。

4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，所述工作真空室还包括位于所述工作真空室底部的传送结构。

5.根据权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括分别位于所述工作真空室两侧的装载真空室和卸载真空室，所述装载真空室通过所述第一舱门与所述工作真空室连通，所述卸载真空室通过所述第二舱门与所述工作真空室连通。

6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，所述装载真空室包括位于所述装载真空室顶部的真空发生器，所述卸载真空室包括位于所述卸载真空室顶部的真空发生器。

7.根据权利要求6所述的涂布装置，所述装载真空室还包括与所述第一舱门相对设置的第三舱门，所述卸载真空室还包括与所述第二舱门相对设置的第四舱门。

8.根据权利要求7所述的涂布装置，所述装载真空室还包括位于所述装载真空室底部的传送结构，所述卸载真空室还包括位于所述卸载真空室底部的传送结构。

9.根据权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，所述卸载真空室还包括固化结构。

10.一种应用权利要求1-9任一项所述的涂布装置的涂布方法，其特征在于，包括：

将基板置于所述工作真空室内部，所述喷嘴向所述基板上涂布涂布材料。

11.根据权利要求10所述的涂布方法，其特征在于，

所述将基板置于所述工作真空室内部，所述喷嘴向所述基板上涂布涂布材料，之前包括：

打开装载真空室、所述工作真空室和卸载真空室的真空发生器；

关闭装载真空室的真空发生器，打开第三舱门，将所述基板置于所述装载真空室中的传送结构上；

关闭所述第三舱门，打开所述装载真空室的真空发生器；

打开第一舱门，所述装载真空室中的传送结构将所述基板传送至所述工作真空室中，关闭所述第一舱门。

12.根据权利要求11所述的涂布方法，其特征在于，

所述将基板置于所述工作真空室内部，所述喷嘴向所述基板上涂布涂布材料，之后包括：

打开第二舱门，所述工作真空室中的传送结构将所述基板传送至所述卸载真空室；

关闭所述第二舱门，打开固化结构，所述固化结构使涂布于所述基板上的涂布材料固化；

关闭所述固化结构，关闭所述卸载真空室中的真空发生器；

打开第四舱门，所述卸载真空室中的传送结构将所述基板传送至所述卸载真空室的外部，关闭所述第四舱门。