[发明专利]光学组件及其制造方法在审
申请号: | 201410669594.5 | 申请日: | 2014-11-21 |
公开(公告)号: | CN104658982A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 陈敏璋;徐文庆 | 申请(专利权)人: | 昆山中辰矽晶有限公司;陈敏璋 |
主分类号: | H01L23/04 | 分类号: | H01L23/04;H01L21/48 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 215316 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 组件 及其 制造 方法 | ||
1.一种光学组件,其特征在于,包含: 一透明的基材,具有一入光面; 一第一引晶层,形成以覆盖所述入光面; 多个第一纳米柱,形成在所述第一引晶层上;以及 一第一保护层,形成以完全覆盖所述多个第一纳米柱。
2.根据权利要求1所述的光学组件,其特征在于,所述多个第一纳米柱具有一高度与外径比的范围为约1至100。
3.根据权利要求1所述的光学组件,其特征在于,所述多个第一纳米柱在所述入光面上形成多个丛集排列,每一个丛集由多个与所述入光面的一法线方向成不同夹角的第一纳米柱所构成。
4.根据权利要求1所述的光学组件,其特征在于,所述多个第一纳米柱大体上垂直所述入光面。
5.根据权利要求1所述的光学组件,其特征在于,所述第一引晶层由一第一氧化物形成,并且所述多个第一纳米柱由一第二氧化物形成。
6.根据权利要求5所述的光学组件,其特征在于,所述第一氧化物的组成以及所述第二氧化物的组成分别选自由Al2O3、AlXTiYOZ、AlXCrYOZ、AlXZrYOZ、AlXHfYOZ、AlXSiYOZ、B2O3、BXPYOZ、BiOX、BiXTiYOZ、BaTiO3、CaO、CoO、CoOX、Co3O4、CrOX、CeO2、Cu2O、CuO、FeO、FeOX、Ga2O3、GeO2、HfO2、In2O3、LaAlO3、La2O3、La2CoO3、La2NiO3、La2MnO3、MoN、Mo2N、MoXN、MoO2、MgO、MnOX、NiO、Nb2O5、PtO2、PXBYOZ、RuO、Sc2O3、SiO2、SiXTiYOZ、SiXZrYOZ、SiXHfYOZ、SnO2、Sb2O5、SrO、SrCO3、SrTiO3、Ta2O5、TaOXNY、TiXZrYOZ、TiO2、TiXHfYOZ、VOX、WO3、Y2O3、ZnO、ZrO2、PrOX、Nd2O3、Sm2O3、Eu2O3、Gd2O3、Dy2O3、Ho2O3、Er2O3、Tm2O3、Lu2O3以及上述化合物的混合物所组成的一群组之一,0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1。
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