[发明专利]研磨组合物用添加剂无效
申请号: | 201410670366.X | 申请日: | 2007-09-26 |
公开(公告)号: | CN104531063A | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 寺本匡志;东垣亮子;牧野弘 | 申请(专利权)人: | 霓达哈斯股份有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨 组合 添加剂 | ||
1.一种研磨组合物用添加剂,其为添加在至少使用过1次的研磨组合物中的研磨组合物用添加剂,其特征在于,含有醇和1种或2种以上的胺化合物。
2.根据权利要求1所述的研磨组合物用添加剂,其特征在于,其含有2种以上的胺化合物,所述胺化合物含有季铵盐,和选自具有水溶性和水分散性的伯胺化合物、仲胺化合物、叔胺化合物以及在主链或侧链上具有氨基的高分子化合物中的1种或2种以上的胺化合物。
3.根据权利要求1或2所述的研磨组合物用添加剂,其特征在于,其含有2种以上的胺化合物,所述胺化合物含有季铵盐和与所述研磨组合物中所含的胺化合物相同的胺化合物。
4.根据权利要求2或3所述的研磨组合物用添加剂,其特征在于,季铵盐为四甲基氢氧化铵。
5.根据权利要求1~4任一项所述的研磨组合物用添加剂,其特征在于,所述醇为选自脂肪族饱和醇中的1种或2种以上。
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