[发明专利]一种太阳能电池发射极及其制作方法无效
申请号: | 201410674037.2 | 申请日: | 2014-11-21 |
公开(公告)号: | CN104465870A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 李军安;何卫华 | 申请(专利权)人: | 广西智通节能环保科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 温旭 |
地址: | 545001 广西壮族自治区柳*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 发射极 及其 制作方法 | ||
1.一种太阳能电池发射极的制作方法,其特征在于,所述方法包括:
在硅片表面上的预定区域覆盖扩散浆料;
烘干所述扩散浆料;
将所述硅片置入扩散炉中进行扩散制结,所述扩散炉中扩散源的扩散杂质与扩散浆料的扩散杂质为同族杂质;以及
在所述预定区域上形成电极,在基底层背面未被背面接触件覆盖的部分以及背面接触件上形成钝化层,所述钝化层的钝化膜的折射率在2.6以上。
2.如权利要求1所述的太阳能电池发射极的制作方法,其特征在于,通过丝网印刷或者喷墨来覆盖所述扩散浆料。
3.如权利要求1所述的太阳能电池发射极的制作方法,其特征在于,所述扩散浆料含有一种或者多种第五族元素,所进行的扩散制结的扩散温度范围为800℃~950℃,扩散时间范围为10~60分钟。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述扩散浆料包括磷浆。
5.如权利要求1所述的太阳能电池发射极的制作方法,其特征在于,通过丝网印刷在所述预定区域上形成电极。
6.如权利要求5所述的太阳能电池发射极的制作方法,其特征在于,利用对准技术以使电极形成在所述预定区域上,所述对准技术包括光源照射和CCD技术。
7.如权利要求1所述的太阳能电池发射极的制作方法,其特征在于,所述预定区域的形状与电极的图形相匹配。
8.如权利要求7所述的太阳能电池发射极的制作方法,其特征在于,所述预定区域的线宽比电极的栅线宽5%-100%。
9.如权利要求7或8所述的太阳能电池发射极的制作方法,其特征在于,所述电极为正面电极的主栅线和副栅线;所述电极为正面电极的副栅线。
10.一种通过前述权利要求中任一项所述的太阳能电池发射极的制作方法制备的太阳电池。
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