[发明专利]隔膜真空泵

说明书

本发明提供一种能提高排气量和极限真空度并能谋求装置的小型化的隔膜真空泵。该隔膜真空泵通过如下方式形成，即，形成隔膜真空泵单元(11a)，并将隔膜真空泵单元沿上下方向叠放多层，利用齿形带(2)将在上下方向上相邻的隔膜真空泵单元的凸轮轴彼此连结起来，并将一个隔膜真空泵单元的凸轮轴(12a)连接于马达(12)，隔膜真空泵单元包括：凸轮轴；曲轴机构(13)，通过凸轮轴的旋转进行工作；连接构件(14)，利用曲轴机构而沿水平方向进行往复运动；隔膜(15、16)，其安装于连接构件的两端部；一对泵室(17、18)，其容积通过隔膜的动作而扩大或缩小；与泵室相连通的进气通路和排气通路；进气侧止回阀；排气侧止回阀。

技术领域

本发明涉及一种隔膜真空泵，详细而言，涉及将多个具有一对泵室的隔膜真空泵单元相连结而成的隔膜真空泵。

背景技术

作为隔膜真空泵，存在如下一种隔膜真空泵，其包括：泵室，其通过安装于连杆的隔膜而扩大或缩小，该连杆利用设于旋转轴的曲轴机构进行往复运动；与该泵室相连通的进气通路和排气通路；进气侧止回阀，其用于限制流体自所述泵室向所述进气通路逆流；以及排气侧止回阀，其用于限制流体自所述排气通路向所述泵室逆流(例如，参照专利文献1。)。另外，还存在一种以如下方式形成的隔膜真空泵：在一个马达的两侧的旋转轴设置两个曲轴机构，在利用各曲轴机构进行往复运动的连杆的两端分别安装隔膜，合计设置利用各隔膜而扩大或缩小的4个泵室并将各泵室串联连接(例如，参照专利文献2。)。

专利文献1：日本特开平4－224286号公报

专利文献2：日本特开平6－185466号公报(图2、图3)

发明内容

发明要解决的问题

但是，所述专利文献2所记载的隔膜真空泵的构造复杂，用于将泵室连接的管设置在外壳内，因此，其用途仅限于提高极限真空度，另外，由于在马达的两侧设有泵室，因而存在设置面积较大这样的问题。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够减小设置面积而也可谋求构造的简化、且不仅能够提高极限真空度而且还能够谋求提高排气速度的隔膜真空泵。

用于解决问题的方案

为了实现所述目的，本发明提供一种隔膜真空泵，其特征在于，该隔膜真空泵通过如下方式形成，即，形成隔膜真空泵单元，将该隔膜真空泵单元沿上下方向叠放多层，利用齿形带将在上下方向上相邻的所述隔膜真空泵单元的凸轮轴彼此连结起来，并将一个隔膜真空泵单元的所述凸轮轴连接于马达，该隔膜真空泵单元包括：所述凸轮轴，其两端部以能够旋转的方式支承于外壳；曲轴机构，其通过该凸轮轴的旋转进行工作；连接构件，其能利用该曲轴机构而沿与所述凸轮轴的轴线正交的水平方向进行往复运动；隔膜，其分别安装于该连接构件的两端部；一对泵室，该一对泵室的容积通过该隔膜的动作而扩大或缩小；与各泵室相连通的进气通路和排气通路；进气侧止回阀，其用于限制流体自所述泵室向所述进气通路逆流；以及排气侧止回阀，其用于限制流体自所述排气通路向所述泵室逆流。

另外，优选的是，利用连结管将一个泵室的所述排气通路和另一个泵室的所述进气通路连接起来，该连结管由形成为日文コ字状的透明且具有耐化学药品性的树脂制的管来形成，并在该连结管的两端部分别一体地设有以能够装卸的方式借助密封构件连接于所述进气通路或所述排气通路的连结部。

发明的效果