[发明专利]含倍半萜的成膜树脂及其负性248nm光刻胶

权利要求书

1.一种含倍半萜的成膜树脂，由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，溶剂中进行共聚反应制备而成，所述成膜树脂的分子量为2000～100000；所述共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：

取代苯乙烯                                40%～90%；

含天然产物倍半萜的组成单元                5%～60%；

性能调节组成单元                          1%～20%；

所述取代苯乙烯是符合化学通式（                                                ）的至少一种化合物：

              （）；

式中，R₁是H、乙酰基或者丙酰基；m=1或2；

所述含天然产物倍半萜的组成单元是指符合化学通式（）的至少一种倍半萜醇的（甲基）丙烯酸酯类化合物：

     （II）；

；

所述性能调节组成单元为符合化学通式（）和（）中的至少一种化合物； 

              （）；

式中：R_w是H、碳原子数为1～20的烷基或者碳原子数为1～20的烷氧基

  或，

R₇是碳原子数为1～10的烷基，R₈是碳原子数为1～10的烷基，o=1～8；

R_z是H、碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为1～20的烷氧基、

或

 ，R₉是碳原子数为1～10的烷基，R₁₀是碳原子数为1～10的烷基，p=1～8；

    （）；

  式中：R₁₁是H或CH₃，R₁₂是H、-CH₂CH₂OH、                   、                   、

碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为3～8的环烷基或者碳原子数为1～20的羟基烷基；符合化学通式（）的丙烯酸酯类单体有：甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸环戊酯、丙烯酸环戊酯、甲基丙烯酸环己酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸环氧丙酯、丙烯酸环氧丙酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸胆甾醇酯、丙烯酸胆甾醇酯、甲基丙烯酸乙氧乙基酯、丙烯酸乙氧乙基酯、甲基丙烯酸β-丁内酯、丙烯酸β-丁内酯、甲基丙烯酸苄酯或者丙烯酸苄酯。

2.根据权利要求1所述的含倍半萜成膜树脂，即所述化学通式（）中倍半萜醇如下表所示：

 

 

。

3.根据权利要求1所述的含倍半萜成膜树脂，其特征在于：符合化学通式（）的单体有：对羟基苯乙烯，对乙酰氧基苯乙烯，间羟基苯乙烯，间乙酰氧基苯乙烯，3,4-二羟基苯乙烯，3,4-二乙酰氧基苯乙烯，3,5-二羟基苯乙烯，3,5-二乙酰氧基苯乙烯。

4.根据权利要求1所述的含倍半萜成膜树脂，其特征在于：符合化学通式（）的苯乙烯类单体为苯乙烯、对羟基苯乙烯，对叔丁基苯乙烯、对叔戊基苯乙烯、对乙氧基苯乙烯、3,5-二甲氧基苯乙烯、3,5-二乙氧基苯乙烯、对苯氧基苯乙烯或者对2-羟乙氧基苯乙烯。

5.根据权利要求1所述的含倍半萜成膜树脂，其特征在于：聚合物分子链中引入所述含天然产物倍半萜的组成单元，例如：

     或者

。

6.根据权利要求1所述的含倍半萜成膜树脂，其特征在于：所述共聚合方法，最常用的是以（甲基）丙烯酸倍半萜酯单体（如下例中A）与其它不同功能的单体（如下例中的B、C、D）共聚合而成，例如：  

。