[发明专利]一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置

权利要求书

1.一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置，其特征在于：包括调节手柄（1）， 连接杆（3），圆柱形观察窗组件（4），加热装置（5），石英透镜片（6），所述调节手柄（1）设置在单晶炉顶盖（7）上方，所述连接杆（3）与调节手柄（1）固定连接，所述石英透镜片（6）与所述连接杆（3）固定连接，所述圆柱形观察窗组件（4）固定在单晶炉顶盖（7）上，在所述圆柱形观察窗组件（4）下端的周围设有所述加热装置（5），连接杆（3）与单晶炉顶盖（7）间转动连接，通过转动调节手柄（1）使连接杆（3）转动，并使石英透镜片（6）与圆柱形观察窗组件（4）离合。

2.根据权利要求1所述的一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置，其特征在于：所述连接杆（3）与所述单晶炉顶盖（7）之间还设有用于防止高压气体泄漏的密封组件（2）。

3.根据权利要求1所述的一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置，其特征在于：所述加热装置（5）由钼丝缠绕而成。

4.根据权利要求1所述的一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置，其特征在于：石英透镜片（6）为双面抛光透镜片。

5.根据权利要求1所述的一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置，其特征在于：所述调节手柄（1）、连接杆（3）为不锈钢材质，石英透镜片（6）为高纯石英材质。