[发明专利]一种酸刻蚀石英摆片挠性梁设备

权利要求书

1.一种酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，用于酸刻蚀石英摆片挠性梁，其特征在于，

包括工作平面和工作罩，所述工作罩设置在所述工作平面上，并与所述工作平面组成工作空间，

在所述工作平面上设有第一酸刻蚀槽、第二酸刻蚀槽和清洗槽，所述第一酸刻蚀槽用于盛放第一氢氟酸溶液，所述第二酸刻蚀槽用于盛放第二氢氟酸溶液；

在所述工作平面上固定设有基座；

在所述工作空间中设有测厚装置、夹持结构和运动件，所述运动件包括转动杆和支撑杆，所述转动杆与所述基座间隙配合，所述转动杆与所述支撑杆的一端固定连接，所述夹持结构与所述支撑杆的另一端连接，所述转动杆与所述夹持结构设置在所述支撑杆的同一侧；

所述测厚装置用于测量所述石英摆片挠性梁的厚度，所述夹持结构用于夹持所述石英摆片挠性梁，所述运动件用于带动所述夹持结构在所述第一酸刻蚀槽、第二酸刻蚀槽、清洗槽之间运动。

2.根据权利要求1所述的酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，其特征在于，

还包括酸中和器，所述酸中和器设置在所述工作罩上，所述酸中和器用于吸收第一氢氟酸溶液和第二氢氟酸溶液的挥发物。

3.根据权利要求2所述的酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，其特征在于，

还包括抽风装置，所述抽风装置设置在所述工作罩内部，所述抽风装置与所述酸中和器连接。

4.根据权利要求2所述的酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，其特征在于，

还包括排风装置，所述排风装置设置在所述工作罩上，所述酸中和器经所述排风装置与外界连接。

5.根据权利要求1所述的酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，其特征在于，

所述测厚装置包括光纤光谱仪、光源、模具固定底座和光纤测量探头，所述光纤光谱仪和光源分别经光纤与所述光纤测量探头连接，所述模具固定底座用于固定所述石英摆片挠性梁，所述光纤测量探头垂直设置在固定在所述模具固定底座上的所述石英摆片挠性梁的一侧。

6.根据权利要求1所述的酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，其特征在于，

还包括：第一储酸箱和第二储酸箱，所述第一储酸箱中用于存放第一氢氟酸溶液，所述第二储酸箱用于存放第二氢氟酸溶液，所述第一储酸箱经第一管道与所述第一酸刻蚀槽连通，所述第二储酸箱经第二管道与所述第二酸刻蚀槽连通，在所述第一储酸箱上设有加热器和搅拌器，在所述第二储酸箱上设有加热器和搅拌器。

7.根据权利要求6所述的酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，其特征在于，

所述第一酸刻蚀槽上还设有第一回流口，所述第一回流口经第一回流管道与所述第一储酸箱连通；

所述第二酸刻蚀槽上还设有第二回流口，所述第二回流口经第二回流管道与所述第二储酸箱连通；

在所述第一酸刻蚀槽上设有第一密封盖；

在所述第二酸刻蚀槽上设有第二密封盖。

8.根据权利要求7所述的酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，其特征在于，

所述第一回流口设置在所述第一酸刻蚀槽的上部，所述第一管道连接与所述第一酸刻蚀槽的下部，在所述第一管道上设有耐酸泵；

所述第二回流口设置在所述第二酸刻蚀槽的上部，所述第二管道连接与所述第二酸刻蚀槽的下部，在所述第二管道上设有耐酸泵。

9.根据权利要求1所述的酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，其特征在于，

所述的清洗槽，下部设有进水口，上部设有溢水口

所述工作罩由树脂、塑料或橡胶制成；和/或

所述工作罩的至少一个侧面是透明材质。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，其特征在于，

还包括控制面板和控制器，所述控制面板与所述控制器电连接，所述控制面板设置在所述工作罩上。