[发明专利]一种动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床

权利要求书

1.一种动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床，包括Y向运动机构、X向运动机构和Z向精密冲压机构，其特征在于：

所述X向运动机构通过X向支架固定于底座上，所述Z向精密冲压机构通过X&Z联动平台和X&Z复合导轨滑块安装于所述X向运动机构的X向导轨，并在所述X向运动机构的X向驱动带动下实现X向运动；

工件放置在所述Y向运动机构1的Y向运动平台上，并通过所述Y向运动机构实现Y向运动。

2.根据权利要求1所述的动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床，其特征在于：所述Z向精密冲压机构包括Z向运动平台、Z向调节机构和微冲压机构，所述Z向调节机构和所述微冲压机构安装于所述Z向运动平台；

所述Z向调节机构包括驱动、Z向导轨、滚珠丝杆、丝杆螺母和螺母座，所述驱动和所述Z向导轨固定于所述Z向运动平台，所述滚珠丝杆安装于所述Z向运动平台上并通过所述丝杆螺母和所述螺母座与所述X&Z联动平台固定连接；

所述微冲压机构通过所述驱动控制所述滚珠丝杠的转动带动所述Z向运动平台与所述X&Z联动平台在Z向的相对运动来实现在Z向位置的调整。

3.根据权利要求2所述的动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床，其特征在于：所述微冲压机构包括薄膜组、刀架、驱动电机和微冲压头，所述驱动电机固定于所述Z向运动平台，所述驱动电机的动子与所述刀架连接并驱动所述刀架在Z向的微平动，所述微冲压头固定于所述刀架上。

4.根据权利要求3所述的精密微冲压机床，其特征在于：所述微冲压机构还包括薄膜预紧力调节螺栓，所述Z向运动平台的基体与所述薄膜组连接处设置有长条形孔槽，所述薄膜预紧力调节螺栓于所述孔槽。

5.根据权利要求3或4所述的动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床，其特征在于：所述微冲压机构还设置有电容式位移传感器。

6.根据权利要求3所述的精密微冲压机床，其特征在于：所述薄膜组与所述刀架采用一体加工方式嵌在所述Z向运动平台。

7.根据权利要求2所述的动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床，其特征在于：所述驱动为伺服电机或手动螺旋调节装置。

8.根据权利要求1所述的动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床，其特征在于：所述Y向运动机构包括底座、Y向导轨、Y向运动平台、Y向驱动、Y向导轨滑块，所述Y向导轨固定于所述底座上，所述Y向运动平台通过连接板安装于所述Y向驱动的动子，所述Y向驱动的定子固定于所述底座上，所述Y向运动平台通过所述Y向导轨滑块和Y向导轨由所述Y向驱动控制其在Y向的运动。

9.根据权利要求1所述的动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床，其特征在于：所述X向导轨固定于所述X向支架，所述X向驱动的定子固定于所述X向支架，所述X向驱动的动子固定于所述X&Z联动平台上。

10.根据权利要求1所述的动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床，其特征在于：所述Y向运动机构还包括固定在所述底座上的Y向光栅尺，所述X向运动机构还包括固定在所述X向支架的X向光栅尺。