[发明专利]材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置

权利要求书

1.一种材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置，包括光源系统、分束器、测量臂、参考臂和CCD部件，

所述光源系统，提供照射光束；

分束器，将光源系统发射的光束分成两束，一束通过测量臂照射被测样品表面，另一束通过参考臂射向参考镜；

测量臂，由显微物镜组Ⅰ和位于显微物镜组Ⅰ后部的载样机构组成，

参考臂，由显微物镜组Ⅱ和位于显微物镜组Ⅱ后部的参考镜构成；

测量臂与参考臂相互垂直共轭；

光源系统、分束器、显微物镜组Ⅰ、载样机构、显微物镜组Ⅱ、参考镜和CCD部件同轴依次设置；

光源系统发出一束光束，光束经过分束器分成两束光，其中一束光束为测量光束，测量光束通过测量臂照射在载样机构固定的样品上，并经过样品表面的反射再通过测量臂照射在CCD部件；

另一束光束为参考光束，参考光束通过参考臂照射在参考镜上，并经过参考镜表面的反射再通过参考臂照射在CCD部件；

CCD部件设置在测量光束和参考光束共同显微干涉成像的位置，将图像转为电子图像存储，其特征在于，

所述显微物镜组Ⅱ和参考镜安装在复合微调机构上，所述复合微调机构可以调节显微物镜组Ⅱ和参考镜的空间位置；所述复合微调机构包括上微调块和下微调块，上微调块通过下滑块连接在下微调块上；调节上微调螺钉移动上滑块，并通过紧定螺钉微调上滑块的滑动方向；调节下微调螺钉移动下滑块，并通过紧定螺钉微调下滑块的滑动方向，由此调节上、下滑块的运动同轴性；上微调块通过上滑块连接参考镜座，下微调块通过下滑块连接显微物镜组Ⅱ；

所述显微物镜组Ⅱ和分束器的中间还设有补偿平晶，所述补偿平晶用来平衡测量光束和参考光束的光程差。

2.如权利要求1所述的材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置，其特征在于，所述载样机构包括多维载样机构和压电陶瓷，多维载样机构包括底座、横向调整座和旋转固定筒；在多维载样机构的底座上安装有轴向微调旋钮和滑动导轨，横向调整座的底部与滑块连接，通过旋转轴向微调旋钮，控制横向调整座和旋转固定筒一起沿着滑动导轨轴向运动；横向调整座上设有垂直微调旋钮和水平微调旋钮，用于调整被测样品的高度和左右位置；通过定位螺丝将样品固定在旋转固定筒上，通过旋转旋转固定筒360º调节样品的方位。

3.如权利要求2所述的材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置，其特征在于，所述载样机构还有微驱动单元，以控制样品的前后微位移移动；所述微驱动单元包括微位移传感器、压电陶瓷和压电陶瓷控制与驱动模块，微位移传感器监控微驱动单元的微位移值，压电陶瓷控制与驱动模块控制施加给压电陶瓷的电压，压电陶瓷为受压产生电压的陶瓷材料，利用其受压产生电压的逆原理，通过施加电压控制压电陶瓷的变形，以控制样品的微位移。