[发明专利]真空紫外成像光谱仪的校准方法及校准装置

权利要求书

1.一种真空紫外成像光谱仪的校准方法，其特征在于，包括：

校准真空紫外成像光谱仪波长测量范围；

校准真空紫外成像光谱仪波长准确度；

校准真空紫外成像光谱仪光谱响应率；

校准真空紫外成像光谱仪均匀性；

校准真空紫外成像光谱仪空间角分辨率。

2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述“校准真空紫外成像光谱仪波长测量范围”中包括：

依次向真空紫外成像光谱仪输入不同波长的窄带的真空紫外单色光作为目标信号；

获取真空紫外成像光谱仪相应的输出信号；

判断该波长是否有相应的输出信号。

3.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述“校准真空紫外成像光谱仪波长准确度”中包括：

依次向真空紫外成像光谱仪输入不同波长的窄带的真空紫外单色光作为目标信号；

获取真空紫外成像光谱仪相应的输出信号的波长；

对比真空紫外成像光谱仪输入以及相应输出信号的波长。

4.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述“校准真空紫外成像光谱仪光谱响应率”中包括：

设置可与真空紫外成像光谱仪切换工作的标准探测器；

分别向真空紫外成像光谱仪以及标准探测器输入相同的窄带的真空紫外单色光；

获取真空紫外成像光谱仪以及标准探测器的输出信号；

根据真空紫外成像光谱仪以及标准探测器的输出信号求得真空紫外成像光谱仪的光谱响应率。

5.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述“校准真空紫外成像光谱仪均匀性”中包括：

设置均匀性校准靶标；

对光进行匀光处理；

将经匀光处理的光经过所述均匀性校准靶标后准直为平行光并在真空紫外成像光谱仪像面的不同位置成像；

采集所述不同位置成像的图像灰度；

获取所述图像灰度的平均值并根据该平均值并计算非均匀性。

6.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述“校准真空紫外成像光谱仪均匀性”中包括：

对光进行匀光处理后输入真空紫外成像光谱仪；

获取不同像元的响应值；

选取获取的像元响应值中的最大值并计算均匀性。

7.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述“校准真空紫外成像光谱仪空间角分辨率”中包括：

设置不同尺寸的空间角分辨率校准靶标；

对光进行匀光处理；

将经匀光处理的光经过所述各空间角分辨率校准靶标后准直为平行光并输入真空紫外成像光谱仪；

选取所述真空紫外成像光谱仪能够辨识的最小尺寸的空间角分辨率校准靶标；

根据所述最小尺寸的空间角分辨率校准靶标的尺寸值获取对应的出射光束的空间角度；

根据所述出射光束的空间角度获得真空紫外成像光谱仪空间角分辨率。

8.一种真空紫外成像光谱仪的校准装置，其特征在于，包括：

光源，用以提供真空紫外辐射能量；

真空紫外单色分光系统(4)，用以对所述光源发射的光进行分光处理，输出所需波长；

真空紫外积分球(5)，用以均匀光源；

真空紫外靶标(6)，用以提供特征靶标；

真空紫外准直光学系统(7)，用以实现对光进行准直处理，形成平行光；

真空紫外标准探测器(8)，用以为光谱响应率的校准提供参考标准；

真空三维扫描机构(10)，用以实现需要被校的真空紫外成像光谱仪(9)的空间角度变换，所述真空三维扫描机构(10)与真空紫外成像光谱仪(9)连接；

所述光源、真空紫外单色分光系统(4)、真空紫外积分球(5)、真空紫外靶标(6)以及真空紫外准直光学系统(7)依次设置于光路中，真空紫外标准探测器(8)与需要被校的真空紫外成像光谱仪(9)可切换地设置于所述真空紫外准直光学系统(7)的输出端；

光由所述光源发出后经所述真空紫外单色分光系统(4)分离出所需波长部分，再由所述真空紫外积分球(5)作匀光处理后经所述真空紫外靶标(6)继而经所述真空紫外准直光学系统(7)进行准直处理后发射给所述真空紫外标准探测器(8)或真空紫外成像光谱仪(9)。