[发明专利]定位装置、光刻装置和物品制造方法

权利要求书

1.一种装置，包括：

第一测量装置和第二测量装置，分别配置成测量移动体在第一方向的位置；

驱动单元，配置成在第一方向驱动移动体；

控制器，配置成根据与移动体在第一方向的位置指令信息和来自第一测量装置或第二测量装置的位置测量信息相应的控制偏差，以及根据设定为预定值的控制参数，来产生用于驱动驱动单元的控制输入信号；

切换单元，配置成将产生控制输入信号时使用的测量装置从第一测量装置切换到第二测量装置或从第二测量装置切换到第一测量装置；和

改变单元，配置成根据切换单元执行的切换来改变控制参数的设定值，

其中，在使移动体进行步进移动之后，该装置对安装在移动体上的基板执行预定处理；并且

其中，在步进移动过程中切换单元切换测量装置的情况下，根据与预定处理的开始定时相关的信息，改变单元在比预定处理的开始早一定时间以上的定时改变所述设定值。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，控制参数是比例增益Kp、积分增益Ki、微分增益Kd中的任何一个，或者是至少两个的组合。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，第一测量装置和第二测量装置包括干涉仪。

4.根据权利要求3所述的装置，

其中，从第一测量装置行进到移动体的测量光和从第二测量装置行进到移动体的测量光在第二方向对齐，并且

其中，切换单元根据与移动体在第二方向的位置相关的信息来切换测量装置。

5.根据权利要求1所述的装置，

其中，所述装置对安装在移动体上的基板执行第一处理，使移动体沿第二方向进行步进移动，然后对基板执行第二处理，以及

其中，在步进移动过程中切换单元切换测量装置的情况下，改变单元根据与第二处理的开始定时相关的信息和与第一处理的结束定时相关的信息而在比第二处理的开始早一定时间以上且比第一处理的结束晚的定时改变设定值。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，在第一测量装置被切换到第二测量装置的情况下，改变单元将控制参数的设定值从第一设定值改变成第二设定值；并且，在第二测量装置被切换到第一测量装置的情况下，改变单元将控制参数的设定值从第二设定值改变成第一设定值。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，在移动体处于一定位置的情况下，移动体在第一方向的位置能够由第一测量装置和第二测量装置同时测量，并且在该位置，测量值从切换前使用的测量装置传递给切换后使用的测量装置。

8.一种光刻装置，包括：

根据权利要求1至7中任意一项的装置；和

成图单元，配置成在安装于移动体上的基板上形成图案。

9.一种物品制造方法，包括：

通过使用根据权利要求8的光刻装置在基板上形成图案；和

对形成有图案的基板进行处理。