[发明专利]常压放电冷等离子体发生器

权利要求书

1.常压放电冷等离子体发生器，包括上隔板(6)、射频电极(7)、下隔板(8)和地电极(9)，射频电极(7)与射频电源(5)连接，地电极(9)与射频电源地线连接，上隔板(6)覆盖于射频电极(7)上，其特征在于，下隔板(8)内部设有纵横交叉的气体通道(12)，射频电极(7)、地电极(9)上均设有突起的平行板条，地电极(9)、下隔板(8)上均设有与射频电极(7)的板条相匹配的窄槽，射频电极(7)的平行板条可以穿过下隔板(8)的窄槽(13)，平行穿插于地电极(9)的窄槽之间，再平行穿插于地电极的平行板条之间；在射频电极(7)的平行板条和地电极(9)的窄槽及平行板条之间形成等离子体放电室(10)，所述常压放电冷等离子体发生器工作气体源包括氦气、氩气在内的能在大气压下稳定放电的气源。

2.如权利要求1所述的常压放电冷等离子体发生器，射频电极的平行板条的下表面与地电极下表面处于同一平面。

3.如权利要求2所述的常压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述射频电极的平行板条的高度为1-100mm。

4.如权利要求3所述的常压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述射频电极和地电极之间形成等离子体放电室的间隙为0.5-3.0mm。

5.如权利要求1所述的常压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述射频电极的平行板条下表面与所述地电极的平行板条下表面处于同一平面。

6.如权利要求5所述的常压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述地电极的平行板条高度为1-100mm。

7.如权利要求6所述的常压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述射频电极和地电极之间形成等离子体放电室的间隙为0.5-3.0mm。

8.如权利要求1-7任一项所述的常压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述等离子体放电室共同构成的截面为圆形、椭圆形、正方形、长方形。

9.如权利要求8所述的常压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述发生器的射频电极和地电极为裸露金属电极，所述上隔板与下隔板使用的材料均为绝缘材料。