[发明专利]一种基于石墨烯无源热电偶的温度探测方法有效
| 申请号： | 201410709659.4 | 申请日： | 2014-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105698953B | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王锴成;贾越辉;王紫东;彭沛;任黎明;傅云义 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01K7/04 | 分类号： | G01K7/04 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 无源 热电偶 温度 探测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于石墨烯无源热电偶的温度探测方法，其步骤包括：
1)合成单层石墨烯薄膜，并将石墨烯转移至衬底上；
2)采用电子束曝光、显影、刻蚀石墨烯，形成U形的石墨烯无源热电偶，以及多个U形石墨烯无源热电偶构成阵列；
3)在石墨烯无源热电偶上溅射两种不同金属材料制备的电极，获取上述石墨烯无源热电偶的电压ΔU；
4)根据公式ΔT＝ΔU/(S1-S2)，得到石墨烯无源热电偶测试的温度，其中S1、S2为石墨烯接触金属后的赛贝克系数。
2.如权利要求1所述的基于石墨烯无源热电偶的温度探测方法，其特征在于，U形石墨烯无源热电偶的横向尺寸为：两个弯头的宽度d1、d3在50nm～500nm范围内，弯头之间的宽度d2不小于200nm，石墨烯无源热电偶的纵向的尺寸为：横梁的宽度h1在100nm～500nm范围内，弯头的长度h2不小于200nm。
3.如权利要求1所述的基于石墨烯无源热电偶的温度探测方法，其特征在于，步骤3)中增加一外围读取电路，用字线和位线结合的方式扫描读取电压。
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