[发明专利]一种多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置及多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置，包括主供气管（1），阀门（3），外进气管（6），内进气管（8），助凝块（10）；所述主供气管（1）与阀门（3）由第一连接管（2）连接；所述阀门（3）与外进气管（6）连接；所述内进气管（8）与外进气管（6）连接，内进气管（8）伸入助凝块（10）中心孔（11）内。

2.根据权利要求1所述的铸锭炉助凝块外进气气冷装置，其特征在于：所述阀门（3）与外进气管（6）之间设置有流量计（5），所述流量计（5）与阀门（3）之间通过第二连接管（4）连接。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置，其特征在于：所述内进气管（8）与外进气管（6）连接处设置有套管（7）。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置，其特征在于：所述助凝块（10）顶部设置有导气槽（13）。

5.根据权利要求1至4任意一权利要求所述的多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置，其特征在于：所述阀门（3）为针型阀。

6. 根据权利要求1至4任意一权利要求所述的多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置，其特征在于：所述外进气管（6）为不锈钢软管。

7. 根据权利要求1至4任意一权利要求所述的多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置，其特征在于：所述主供气管（1）为车间内的主供气管道。

8. 根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置，其特征在于：所述导气槽（13）的宽度（14）为20~500mm，深度（15）为0.5~20mm。

9. 一种多晶硅铸锭炉，包括下炉体（9），上炉体（12），其特征在于：具有权利要求1至8任意一权利要求所述的多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置。

10.一种使用权利要求1至8之一所述多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置对多晶硅铸锭炉助凝块进行冷却的方法，其特征在于，使用惰性气体或氮气作冷却气体，所述冷却气体与包括助凝块在内的热场部件完成流动换热后，直接由真空泵排出至炉外。