[发明专利]一种多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置及多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201410712360.4 | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN104389017A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 吕铁铮 | 申请（专利权）人： | 吕铁铮 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 长沙星耀专利事务所 43205 | 代理人： | 宁星耀 |
| 地址： | 410012 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 炉助凝块内进气 气冷 装置 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置，包括炉顶盖（2）、助凝块（15），其特征在于：还设有进气管盖（4）、内进气管I（5）、内进气管II（9）、内进气管III（10）、内进气管IV（14）；所述内进气管I（5）的进气端穿过进气管盖（4）的小进气孔（20）；所述内进气管I（5）、内进气管II（9）、内进气管III（10）和内进气管IV（14）依次连接，内进气管IV（14）伸入助凝块（15）中心孔（16）内。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置，其特征在于：所述炉顶盖（2）上设置有锥形棒（1），且锥形棒的直径大于内进气管I的内径，所述锥形棒（1）的锥形端能够伸入内进气管I（5）的进气口内。
3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置，其特征在于：所述内进气管I（5）进气端设有螺纹，通过螺纹连接有螺母（3）。
4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置，其特征在于：所述助凝块（15）顶部设置有导气槽（17）。
5.根据权利要求1至4之一所述的多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置，其特征在于：所述内进气管II（9）为不锈钢金属软管。
6.根据权利要求1至4之一所述的多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置，其特征在于：所述内进气管III（10）与内进气管IV（14）连接处设置有活接头（11）。
7.根据权利要求1至4之一所述的多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置，其特征在于：所述进气管盖（4）的小进气孔（20）与大进气孔（21）的直径比=0.3~0.8:1。
8.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置，其特征在于：所述导气槽（17）的宽度（18）为20～500mm，深度（19）为0.5～20mm。
9.一种多晶硅铸锭炉，包括上炉体（7），下炉体（12），其特征在于：设有权利要求1至8任意一权利要求所述的多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置。
10.一种使用权利要求1至8之一所述多晶硅铸锭炉助凝块内进气气冷装置对多晶硅铸锭炉助凝块进行冷却的方法，其特征在于，使用惰性气体或氮气作冷却气体，所述冷却气体与包括助凝块在内的热场部件完成流动换热后，直接由真空泵排出至炉外。
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