[发明专利]一种提高产品良率的方法及系统

权利要求书

1.一种提高产品良率的方法，应用于MES系统中的若干机台上，其特征在于，所述方法包括：

当所述机台存在异常时，通过一机台恢复系统对所述机台进行恢复处理，且该机台恢复系统将异常信息中潜在影响产品良率因素的信息传递至一数据库；

对存储在所述数据库中的所有潜在影响产品良率因素的信息进行确认后，对数据库中所有的潜在影响产品良率因素的信息进行筛选，生成影响产品良率案件并将该影响产品良率案件发送至所述MES系统；

所述MES系统根据所述影响产品良率案件对所述机台进行调整。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：通过在所述MES系统设置lot暂停站点，并于所述暂停站点处利用良率分析系统对在所述机台上进行工艺的lot进行良率分析。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述MES系统设置有一调控模块，根据工艺需求来通过所述调控模块在所述MES系统中设置lot需要暂停的站点。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述机台恢复系统、案件库、良率分析系统均与ESB总线连接。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述机台恢复系统、案件库、良率分析系统均通过网络服务线路与所述ESB总线对接。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述ESB总线通过一数据转换系统与所述MES进行连接。

7.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述良率分析系统获取WAT测试数据和/或CP测试数据并通过所述ESB总线传达至所述MES系统。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，确认后的所述潜在影响产品良率因素的信息均包含以下属性信息：所处的生产工艺、及该生产工艺所对应的站点、进行该生产工艺设备的ID、进行该生产工艺产品的ID和造成该异常的原因信息。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，对确认后的潜在影响产品良率因素的信息进行筛选的步骤如下：

根据工艺需求预设一筛选时间段；

在所述筛选时间段，若多个影响产品良率因素的信息所包含的各项属性信息均完全相同时，则在所述多个影响产品良率因素的信息中选取部分影响产品良率因素的信息作为所述影响产品良率案件。

10.一种提高产品良率的系统，包括若干机台，其特征在于，所述系统还包括：

机台恢复模块，用于对机台进行恢复处理；

数据存储模块，用于获取机台在进行恢复处理后所产生的每个潜在影响产品良率因素的信息，并进行存储；

制造执行模块；

其中，所述数据存储模块包含有一处理模块，所述处理模块对存储在所述数据存储模块中所有影响产品良率因素的信息进行确认后并进行筛选，生成影响产品良率案件并发送至所述制造执行模块，所述制造执行模块根据所述影响产品良率案件对所述机台进行调整。

11.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述机台恢复模块、数据存储模块、良率分析模块均与ESB总线连接。

12.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述ESB总线通过一数据转换模块与所述制造执行模块进行连接。

13.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述机台恢复模块、数据存储模块、良率分析模块均通过网络服务线路与所述ESB总线对接。

14.如权利要求12所述的系统，其特征在于，所述良率分析模块获取WAT测试数据和/或CP测试数据并通过所述ESB总线传达至所述制造执行模块。