[发明专利]一种微电子开关及有源矩阵有机发光显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其是涉及一种微电子开关及有源矩阵有机发光显示装置。

背景技术

在显示技术领域，有源矩阵有机发光显示装置AMOLED中每个像素的亮度正比于通过他的驱动电流的大小。

现有技术中，有源矩阵有机发光显示装置中控制每个像素内驱动电流通断的开关器件为薄膜晶体管开关TFT，且TFT中的有源层多采用a-Si有源层或p-Si有源层。

但是，由于采用a-Si有源层的TFT在工作时存在阈值电压漂移的问题，而采用p-Si有源层的TFT工作时由于p-Si有源层内存在晶界问题而导致TFT的阈值电压的均一性较差。

所以，现有技术中，有源矩阵有机发光显示装置采用的开关器件工作时的阈值电压的均一性较差，有源矩阵有机发光显示装置AMOLED中需要采用更为复杂的像素驱动电路来解决其发光亮度不均的问题，从而导致有源矩阵有机发光显示装置中的像素驱动电路设计比较复杂。

发明内容

本发明提供了一种微电子开关及有源矩阵有机发光显示装置，该微电子开关工作时的阈值电压均匀性好，有源矩阵有机发光显示装置中不用设置用于提高阈值电压均匀性的复杂电路，从而有利于简化有源矩阵有机发光显示装置中的像素驱动电路。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种微电子开关，包括：

栅电极；

具有源电极和漏电极的源漏电极；

与公共电极线电连接的第一静电电极；

具有开位和关位两种工作位置的悬臂；

设置于所述悬臂朝向所述源电极和漏电极一侧的连接部，当所述悬臂处于关位时，所述连接部分别与所述源漏电极的源电极和所述漏电极电连接、以连通所述源电极和所述漏电极；

设置于所述悬臂朝向所述第一静电电极一侧表面的第二静电电极，所述第二静电电极与所述栅电极电连接、且与所述第一静电电极相对设置，所述第一静电电极与所述第二静电电极之间设有绝缘介质层；当所述栅电极向所述第二静电电极加载的电压小于设定阈值时，所述悬臂位于一种工作位置，当所述栅电极向所述第二静电电极加载的电压大于设定阈值时，所述第一静电电极和所述第二静电电极相吸，以使所述悬臂切换至另一工作位置。

上述微电子开关在使用过程中通过控制栅电极是否为第二静电电极提供大于设定阈值的电压来控制第一静电电极和第二静电电极之间是否相吸，进而控制悬臂的工作位置，最终实现对连接部是否将源漏电极中的源电极和漏电极连通。

上述微电子开关中，控制源漏电极中的源电极和漏电极之间通断的部件为悬臂、连接部、第一静电电极、第二静电电极、栅电极等微机械结构，不存在阈值电压漂移、晶界等，其连通源电极和漏电极时的阈值电压均一性好，进而使有源矩阵有机发光显示装置中不用设置用于提高阈值电压均一性的复杂电路，从而有利于简化有源矩阵有机发光显示装置中的像素驱动电路。

优选地，所述悬臂为由氮化硅SiN材料制备的悬臂。

优选地，所述第二静电电极与所述栅电极之间通过金属梁臂电连接。

优选地，所述金属梁臂为由杨氏张量为78GPa、泊松比为0.44的Au制备的金属梁臂。

优选地，所述第二静电电极具有沿所述第二静电电极朝向所述第一静电电极的方向延伸的多个通孔。

优选地，沿垂直于所述第二静电电极朝向所述第一静电电极的方向、且垂直于所述金属梁臂的延伸方向，所述第二静电电极的尺寸小于所述连接部的尺寸。

优选地，所述绝缘介质层设置于所述第一静电电极朝向第二静电电极的表面上。

优选地，所述绝缘介质层为采用介电常数为7.5的Si₃N₄制备的绝缘介质层。

优选地，沿所述悬臂的延伸方向，所述栅电极位于所述第一静电电极与所述源漏电极之间，且所述栅电极、第一静电电极、源漏电极位于所述悬臂的同一侧；当所述栅电极向所述第二静电电极加载的电压小于设定阈值时，所述悬臂处于关位，所述连接部与所述源漏电极的源电极和漏电极电连接；当所述栅电极向所述第二静电电极加载的电压大于设定阈值时，所述第一静电电极和所述第二静电电极相吸，所述悬臂处于开位。